一、袖珍型超高真空插板閥
此真空閥門有手動、氣動驅(qū)動兩種方式,,在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上合理,在外形上美觀,并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點(diǎn),能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。閥門以壓縮空氣推動氣缸為動力,通過傳動桿推(拉)動連桿機(jī)構(gòu),帶著驅(qū)動體沿軸向運(yùn)動,驅(qū)動體通過擺桿與閥板連接,完成閥板開啟及關(guān)閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。
二、袖珍型超高真空插板閥特點(diǎn)
軸封為波紋管密封,無潤滑劑設(shè)計(jì);
閥體材料為不銹鋼,整體剛性好,體積小,外形美觀;
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu),運(yùn)動平穩(wěn);閥板內(nèi)整體式結(jié)構(gòu),支撐力均勻。
三、袖珍型超高真空插板閥參數(shù)
適用范圍:
1×10-5Pa~1.2×105Pa(全部氟膠圈密封)
1×10-6Pa~1.2×105Pa(波紋管密封)
打開時(shí)插板上的壓差:≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):10,000次
閥體烘烤溫度:打開時(shí)≤200℃;關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置:任意
電源:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(除了上述規(guī)格外,特殊規(guī)格可定做)
閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間:≤3s
氣動壓縮空氣:0.4~0.7MPa
閥門位置指示
手動驅(qū)動:帶有啟閉位置指示(機(jī)械式)
氣動驅(qū)動:帶有啟閉位置指示開關(guān)(磁性開關(guān))