一、矩形超高真空插板閥概述

此系列閥門為氣動驅(qū)動方式，在結(jié)構(gòu)上設(shè)計合理，外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動化首選閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構(gòu)，帶著驅(qū)動體沿軸向運動，驅(qū)動體通過擺桿與閥板連接并帶動閥板開啟及關(guān)閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、矩形超高真空插板閥特點

采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構(gòu)，閥板受力均勻，閥門開啟沖擊振動小，噪聲低；

四滾輪支撐運動機構(gòu)，動作平穩(wěn)，運動噪聲??；

動密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠；

閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率??；

在更小的體積上，一次性通過更多的工件，合理使用了空間。