真空泵常用參數

　　1.抽氣量(體積流量)(s單位：m3·min-1，m3·s-1，L·s-1)

　　當真空泵配備有標準測試罩并在指定條件下運行時，流過測試罩的氣體流量與在測試罩上指定位置測得的平衡壓力之比。稱為真空泵的抽速。即，在一定的壓力和溫度下，每單位時間由真空真空泵從抽出的容器中抽出的氣體量。

　　2.極限壓力(最高真空)(單位：Pa/MPa/mmHg)

　　真空泵配有標準測試罩，可在指定條件下以穩(wěn)定的最小壓力運行，而不會引入氣體。即，在真空真空泵的入口端被完全泵送之后可以實現的最低穩(wěn)定壓力。

　　3.起始壓力

　　真空泵啟動時沒有損壞，并具有抽氣壓力

　　4.前級壓力

　　真空真空泵的出口壓力低于一個大氣壓。

　　5.最大前級壓力

　　超過會損壞真空泵的前級壓力。

　　6.最大工作壓力

　　入口壓力對應于最大泵送量。在此壓力下，真空泵可以連續(xù)工作而不會變質或損壞。

　　7.抽氣量(Q單位：Pa·m3·S-1; Pa·L·S-1)

　　氣流通過真空泵的入口。

　　8.壓縮比

　　真空泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

　　真空泵的極限壓力

　　真空泵開始工作后不久，出現了最低壓力P'g。真空泵繼續(xù)運行。隨著真空泵溫度的升高，真空泵油的飽和蒸汽壓升高，粘度降低，入口壓力略微升高至Pg。 Pg是由真空泵獲得的穩(wěn)定的最小壓力，也是真空泵的極限壓力。

　　旋片式真空泵的極限壓力與測量中使用的真空計的類型有關。當使用壓力表測量時，最終壓力值比使用導熱真空表(熱電偶或皮克計)測量的壓力低約一個數量級。這是因為前者只能測量永久氣體的分壓，而后者只能測量加壓氣體的總壓。中國現行法規(guī)使用壓縮真

　　空表測量油封機械真空泵的極限壓力。

　　真空泵中的循環(huán)油量也會影響真空泵的極限壓力。隨著油量的增加，密封效果越好，真空泵的極限壓力與油量之間的關系發(fā)生變化，最終達到油的飽和蒸氣壓Po。實際上，真空泵油中含有大量的空氣和水分。真空泵油進入真空泵腔后，真空泵油中吸收的空氣和水分再次釋放，真空泵的極限壓力與油量之間的關系向上發(fā)展。通常，真空泵油應保持在規(guī)定的油位，以保持真空泵的循環(huán)油量恒定。對于兩級真空泵，可以在進入高真空級之前先通過低真空級對真空泵油進行脫氣，這可以減少高真空級中真空泵油的排放量，從而降低真空泵的極限壓力。