螺桿真空泵是20世紀90年代初出現(xiàn)的理想泵。由于其泵速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放、運行成本低，已廣泛應用于半導體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域。
目前，各種真空泵的發(fā)展越來越受到真空應用的影響，傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已經(jīng)不能滿足清潔、無油、耐腐蝕、可冷凝的抽汽和惡劣工況下運行的要求。因此，近年來，干式真空泵發(fā)展迅速，并且通過真空獲得的產(chǎn)品已經(jīng)更新。
螺桿真空泵的特征
螺桿真空泵：的工作原理一對同步齒輪帶動螺桿反向旋轉，螺桿與泵室之間有一定的間隙，沒有任何金屬對金屬的接觸。因此，當螺桿旋轉時，泵送的氣體從空氣入口被吸入，并被排放到空氣出口。
早期的螺桿真空泵具有相同的螺距。為了降低能耗和泵腔內的溫度，后來開發(fā)了變螺距螺桿真空泵。其中一個螺絲是由兩個不同螺距的螺絲拼接而成，另一個是螺距不斷變化的螺絲桿真空泵，螺絲是由一種整體材料制成的。
螺桿真空泵的特征如下
變螺距結構，比等螺距螺桿節(jié)能30%，排氣溫度更低;
泵送氣體在泵腔中的距離很短，并且被快速排出;
泵送的氣體很少在泵室內攪拌;
小顆粒不易積聚;
它能夾帶液體、可冷凝物和微小顆粒;
低振動和噪音;
泵腔中的殘留物很容易清除。
干式螺桿真空泵使用中的注意事項
使用干式螺桿真空泵的注意事項如下：
1.螺桿真空泵背壓
螺桿真空泵通常的排氣壓力為大氣壓力，在匹配電機功率不變的情況下，最大允許背壓為0.3巴。如果螺桿真空泵在高背壓下運行，將會導致諸如較低的抽吸速度、較差的極限真空和較高的排氣溫度等問題。
2.進氣溫度
螺桿真空泵的進氣溫度為15~60，在此溫度范圍內，泵可以長時間連續(xù)工作。進氣溫度超出此范圍，因此應采取必要的措施。
3.冷卻水溫度
給定的冷卻水溫度為20 流量，冷卻水的最高允許溫度為32，但冷卻水必須適當增加流量。
4.處理液體和固體的能力
干式螺桿真空泵送的氣體可以夾帶一定量的液體和微小顆粒。