真空泵對(duì)真空等離子清洗機(jī)的真空度、抽真空時(shí)間以及整個(gè)設(shè)備的處理效果有著重要的影響,因此選擇合適的真空泵對(duì)真空等離子清洗機(jī)的質(zhì)量至關(guān)重要。真空等離子清洗機(jī)中常用的真空泵有兩種,即油式真空泵和干真空泵。今天,我們將介紹等離子清洗機(jī)用真空泵的類(lèi)型和特點(diǎn),以及選擇真空泵時(shí)的注意事項(xiàng)。
油式真空泵
油式真空泵是用油密封、潤(rùn)滑和冷卻的真空泵的總稱(chēng)。真空等離子清洗機(jī)中最常用的油式真空泵之一是旋片真空泵。
旋片真空泵
旋片真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵,其主要部件包括泵體、轉(zhuǎn)子,旋片、端蓋、彈簧等。旋片真空泵有兩種類(lèi)型:?jiǎn)渭?jí)和雙級(jí)。雙級(jí)旋葉真空泵是等離子清洗機(jī)中常用的設(shè)備。所謂的雙級(jí)旋片真空泵在結(jié)構(gòu)上串聯(lián)兩個(gè)單級(jí)泵。
旋片真空泵的泵腔內(nèi)偏心安裝有轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切。同時(shí),兩個(gè)帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽中。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),旋片的頂端通過(guò)離心力和彈簧力與泵腔內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。旋片真空泵使用兩個(gè)旋片將泵腔分成三部分。由于轉(zhuǎn)子是偏心安裝的,三個(gè)部分的空間會(huì)隨著轉(zhuǎn)子,的旋轉(zhuǎn)而變化,壓差被用來(lái)達(dá)到抽氣的目的。
旋片真空泵主要用于小腔體(80L以下)或真空等離子清洗機(jī)中真空泵機(jī)組的前級(jí)泵。
旋片真空泵具有以下優(yōu)點(diǎn):
一、旋片真空泵在抽出空腔內(nèi)的干燥氣體的同時(shí),可以抽出一定量的可冷凝氣體和氣水混合物;
二、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單,維護(hù)方便;
三、是體積小,重量輕,便于安裝和移動(dòng);
第四,振動(dòng)小,噪音低;
第五,價(jià)格相對(duì)較低。
干式真空泵
干式真空泵是無(wú)油干式機(jī)械真空泵的簡(jiǎn)稱(chēng)。干式真空泵是一種不使用油、水或其他聚合物等流體作為工作介質(zhì)的真空泵。這使得干式真空泵的清潔度更好,并防止油污染。因此,干式真空泵主要用于對(duì)潔凈度要求較高的真空等離子清洗機(jī),如半導(dǎo)體領(lǐng)域、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域和航空航天領(lǐng)域。真空等離子清洗機(jī)上最常用的干式真空泵之一是干式螺桿真空泵。
干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵是一種真空泵,它利用一對(duì)螺桿在真空泵殼體內(nèi)高速同步反向旋轉(zhuǎn),從而產(chǎn)生作用力,實(shí)現(xiàn)抽吸和排氣的功能。由于干式螺桿真空泵相互之間沒(méi)有摩擦,運(yùn)行平穩(wěn),噪音低,所以工作腔內(nèi)不需要潤(rùn)滑油。干式螺桿真空泵是一種性能優(yōu)異的干式真空泵,與其他真空泵相比有很多優(yōu)點(diǎn):
第一,干式螺桿真空泵的極限真空度很高,最高極限真空可達(dá)到1-2Pa;
第二,干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,噪音低,故障率低,維護(hù)簡(jiǎn)單;
第三,干式螺桿真空泵的一種工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層,可適應(yīng)惡劣工況。