由于各種真空泵的性能能夠滿足抽真空容器的共同點(diǎn),所以仍然存在差異。因此,在選擇時(shí),確定泵在真空系統(tǒng)中承擔(dān)的工作任務(wù)非常重要。泵在各種工作領(lǐng)域的功能總結(jié)如下。
1.主泵
系統(tǒng)中的所謂主泵是真空泵,其直接對(duì)真空系統(tǒng)的真空容器抽真空,以獲得滿足工藝要求所需的真空度。
2.粗抽泵
粗抽泵是指真空泵開始將真空系統(tǒng)的壓力從大氣壓降低到另一個(gè)泵系統(tǒng)可以開始工作。
3.前級(jí)泵
前級(jí)泵是指用于將另一臺(tái)泵的前級(jí)壓力保持在其最高允許前級(jí)壓力以下的真空泵。
4.維持泵
維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽真空很小時(shí),不能有效使用主級(jí)泵。為此,在真空系統(tǒng)中配備了另一個(gè)具有較低泵送速度的輔助前級(jí)泵,以維持主泵或真空容器所需的低壓真空泵的正常運(yùn)行。
5.粗真空泵或低真空泵粗
低真空泵是指從大氣開始,在降低待泵送容器的壓力后,在低真空或粗真空壓力范圍內(nèi)工作的真空泵。
6.高真空泵
高真空泵是指真空泵在高真空范圍內(nèi)工作。
7.超高真空泵
超高真空泵是指工作在超高真空范圍內(nèi)的真空泵。
8.增壓泵
增壓泵通常是指在低真空泵和高真空泵之間工作的真空泵,用于在中間壓力范圍內(nèi)增加泵送系統(tǒng)的泵送量或降低前一泵的泵送速率要求。