發(fā)布時間:
2021
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05
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來源:
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半導(dǎo)體制造業(yè)中有許多不同的真空泵。我們將其分為兩類：主泵和高級真空泵。主泵在腔體中產(chǎn)生粗糙的中間真空有多種用途。在集成的多腔設(shè)備中清空容納硅晶片的區(qū)域；為高級真空泵泵送空氣。先進的真空泵用于獲得10-3 Torr到10-9 Torr 的壓力范圍以及超高真空。新晶圓廠使用的現(xiàn)代真空泵是干燥的，這意味著內(nèi)部沒有油或潤滑劑會回流到處理室并污染硅晶圓。螺桿泵特點：1.轉(zhuǎn)子輪廓嚙合均勻，密封性好，抽氣效率高。2.最終真空度高，最大壓力可達(dá)到0.2 Pa。3.進口螺桿轉(zhuǎn)子專用加工中心一批，加工精度高，產(chǎn)品性能穩(wěn)定。4.螺桿泵的所有轉(zhuǎn)子都經(jīng)過了G1動態(tài)平衡測試，并且在運行過程中泵的振動很小。5.泵標(biāo)配了定制的電動機，并且在泵的油腔和電動機之間形成封閉結(jié)構(gòu)，從而消除了電動機端部的動態(tài)軸伸密封，并消除了機油泄漏引擎末端出現(xiàn)問題。6.泵標(biāo)配特殊的可拆洗消音器，具有良好的降噪效果和低噪音，同時易于拆卸，清洗和維護。7.螺桿泵結(jié)構(gòu)合理，可以適應(yīng)多種保養(yǎng)和維護措施，針對各種對泵有害的情況具有相應(yīng)的處理方法，可以配備相應(yīng)的結(jié)構(gòu)或附件，具有很大的相關(guān)性。維護效果好，操作簡單，處理時間短，可以更好地保證設(shè)備的正常運行。