2021
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真空熱處理工藝的發(fā)展,是與設(shè)備的發(fā)展分不開的,提高設(shè)備技術(shù)水平以適應(yīng)工藝要求,往往又與配套件技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)?! ≡?873年發(fā)明白熾燈泡前,主要是用活塞式抽氣機獲得真空,但只能達到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術(shù)要求更高的真空度,就促進了真空技術(shù)的發(fā)展,因而相繼出現(xiàn)了各種真空泵:旋轉(zhuǎn)水銀泵(1905年),油封旋轉(zhuǎn)泵(1907年)、分子泵(1913年)和擴散泵(1915年)。其中擴散泵的發(fā)明、使真空技術(shù)進入高真空度(10-8毛左右)的階段。隨著近代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,例如加速器、熱核反應(yīng)裝置,大型真空爐等,都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此,到了60年代初期,擴散泵的排氣速度已達到了數(shù)萬升/秒的能力。 但是,就真空熱處理所需的真空度而言,一般達到1x10-2~1x10-4乇就足夠了,只在特殊情況下,才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空熱處理爐常用的真空泵,是由機械泵和油蒸發(fā)擴散泵所組成?! ∽鳛橐环N運行介質(zhì),泵油在真空泵中起著以下重要作用: 密封---防止大氣進入排氣閥,有相對運動零件間的間隙密封(轉(zhuǎn)子與定子、旋片與轉(zhuǎn)子槽等)?! 櫥?--相對運動件間的潤滑,降低磨損?! ±鋮s---油在泵內(nèi)與油箱間循環(huán),散熱、冷卻?! y裹---將磨損產(chǎn)生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中,減小磨損傷害。 保護---形成保護性油膜,避免水及化學(xué)蒸汽凝結(jié)物腐蝕泵內(nèi)部件?!?..