三、大型高真空翻板閥參數
驅動方式: 氣動?
法蘭形式: LF GB-LP?
閥體材料: 不銹鋼?
適用真空: 高真空?
適用范圍:
5.3×10-5Pa~1.2×105Pa(氟膠圈密封)
5.3×10-6Pa~1.2×105Pa(波紋管密封)
打開時閥板上的壓差:≤5×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:≤1.3×10-7Pa·L·s-1
首次維修前循環(huán)次數:100,000次
閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置:密封面朝向真空
電源:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊規(guī)格可定做)
壓縮空氣:0.5~0.7MPa
閥門開啟或關閉時間:≤4s
閥門位置指示:帶有啟閉位置指示開關(磁性開關)