羅茨真空泵的抽速與前級真空泵的抽速之間的關(guān)系主要取決于體積效率和羅茨真空泵的壓差。如果容積效率低,則羅茨真空泵裝置的有效抽速會大幅下降。如果羅茨真空泵的壓差超過最大允許壓差,則壓縮功將導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱并被卡住。因為泵殼很容易到周圍的環(huán)散熱仍然不太熱。
羅茨真空泵的最大允許壓差在40-100hPa之間。在較高的壓力范圍(150hPa)中,允許的壓差會稍高一些,這是因為抽氣量值得感謝,并且改進(jìn)了轉(zhuǎn)子。冷卻。隨著壓差的增加,不可避免地會增加所需的功率。
羅茨真空泵的出口管中安裝了專用的氣體冷卻器,由于冷卻氣體的回流可以將轉(zhuǎn)子的溫度保持在指定范圍內(nèi),因此可以增加最大允許壓差。
內(nèi)。在真空和高真空范圍內(nèi),抽速比多使用10:1。當(dāng)入口壓力變化較大或前級壓力變小時,壓縮比降低,因此抽速比多選擇。
1.當(dāng)羅茨真空泵在較高壓力下啟動時,壓力迅速下降并達(dá)到所需壓力。盡管啟動時超過了最大允許壓力差,但短時過載(幾分鐘后)正常的羅茨真空泵電動機(jī)不會引起問題。當(dāng)入口壓力非常低或預(yù)真空泵氣鎮(zhèn)閥工作時,通常使用兩級預(yù)真空泵,否則很難達(dá)到羅茨真空泵所需的預(yù)壓力,并且在此壓力下進(jìn)行前期泵的抽速太低。這將導(dǎo)致壓縮比過高并降低容積效率。
2.當(dāng)泵的入口壓力在真空度范圍內(nèi)時,這是允許的最大壓差成為重要因素。當(dāng)入口壓力為15hPa時,羅茨真空泵與前級真空泵的泵速比為6:1,而當(dāng)入口壓力為75hPa時為2:1。在羅茨真空泵粗真空范圍和前級真空泵的抽速比中,對于每種情況,通常需要分別確定相對較小的值。體積效率相當(dāng)好。