液環(huán)真空泵結構及工作原理
液環(huán)真空泵是一種使用液體作為工作介質的粗泵。水環(huán)真空泵用作工作介質,也可以使用其他工作油,如油,硫酸和乙酸。主要使用工業(yè)水環(huán)真空泵。
液環(huán)真空泵有單級,雙級,單作用和雙作用應用。單級和兩級真空泵是指葉輪的級數;單/雙動作是指葉輪/殼體的形式,單作用葉輪真空泵葉輪旋轉一次,氣體經過一次抽吸/排出;雙作用真空泵使其葉輪旋轉一周。吸入和排出兩種氣體。
使用真空泵時,需要注意以下事項:
1.真空泵的工作壓力應滿足真空設備的極限真空和工作壓力要求。例如,真空涂層需要1×10-5mmHg的真空,并且所選真空泵的真空度至少為5×10-6mmHg。泵的真空通常選擇為比真空設備的真空高一半數量級。
2.正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內,泵的泵送速度隨壓力變化,其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5×10。 -4?5×10-6mmHg。因此,泵的工作點應在此范圍內選擇,不應在10-8mmHg下長時間工作。另一個例子是鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓力應小于1×10-5mmHg。
3.在工作壓力下,真空泵應能清除真空設備過程中產生的所有氣體。
4.正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送,有時泵不能滿足泵送要求,并且需要將多個泵組合以彼此互補以滿足泵送要求。例如,鈦升華泵對氫氣具有高抽速,但不能泵送,并且三極濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣具有一定的抽速。組合時,真空裝置將具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;一些真空泵出口壓力低于大氣壓力,需要前級泵,因此需要將泵組合在一起。
5.真空設備對油污的要求。如果設備嚴格要求無油,則應選擇各種無油泵,如:水環(huán)泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等。如果要求不嚴格,你可以選擇有一個油泵,加上一些油污措施,如加入冷阱,擋板,油阱等,也可以達到清潔真空要求。
6.了解要泵送的氣體的成分。該氣體不含可凝結的蒸氣,沒有顆粒粉塵,也沒有腐蝕性。選擇真空泵時,您需要知道氣體成分并選擇合適的泵送氣體泵。如果氣體中含有蒸汽,微粒和腐蝕性氣體,請考慮在泵的入口管道上安裝冷凝器,集塵器等輔助設備。
7.從真空泵排出的油蒸汽如何影響環(huán)境?如果環(huán)境不允許污染,您可以選擇無油真空泵或將油蒸汽排放到外面。
8.真空泵工作時產生的振動對過程和環(huán)境沒有影響。如果過程不允許,請選擇無振動泵或采取防振措施。
9.真空泵的價格,運行和維護費用