1.風冷
羅茨真空泵由于氣體的傳輸和壓縮而產生熱量,這些熱量必須從轉子散發(fā)到殼體。然而,在低壓下,氣體的傳導和對流性能極差,因此轉子吸收的熱量不易散發(fā),這使轉子溫度始終高于殼體溫度。
由于轉子的熱膨脹,減小了轉子與轉子之間,轉子與泵殼之間的間隙,特別是當壓差也很高時,這尤其嚴重,甚至使轉子卡住并損壞泵。為了使羅茨泵在更大的壓差下運行,以擴大使用范圍并提高泵的可靠性,有必要嘗試消散轉子產生的熱量,即對轉子進行冷卻。
為了了解空氣冷卻的本質,我們首先來看一下真空泵排氣側的氣流。在羅茨真空泵中,吸入氣體的壓縮過程不是連續(xù)的,而是突然的。隨著轉子旋轉,吸入氣體被鎖定在腔體中,并且隨著轉子旋轉,腔體中的氣體突然連接到排氣口。
由于排氣側的較高氣壓,排氣口中的氣體返回到空腔,然后隨著轉子的旋轉而離開泵。在這樣的過程中,兩個轉子在每轉中總共執(zhí)行四個排氣過程。
根據(jù)上述氣流,可以假設,如果每次排放回到泵腔中的氣體是冷的,則大量的熱量會被吸收到高溫泵腔中并吸收熱量。氣體在排氣轉子中不斷壓縮,以達到轉子冷卻的目的。
空氣冷卻采用上述原理。在泵的排氣口安裝密集的散熱片。散熱片用冷水管冷卻,或者將冷卻水管直接安裝到泵的排氣口中,從而冷卻排氣口中的氣體。這種冷卻方法可以有效地將羅茨泵轉子產生的重量消散到壓縮氣體中。另外,當排氣壓力高時,由于氣體分子的密度高,所以導熱性能更好,冷卻效果也更好。
使用此方法可以確保泵在較高的壓差下工作。實驗表明,羅茨泵運行6個小時,壓力差為30托,轉子與機殼之間的溫差為22度。將其安裝在冷卻器后的排氣口中時,可在85
Torr的壓差下長時間工作,溫度差不超過17度。一般說來,羅茨真空泵采用空冷后,壓差可以增加80托,不帶冷卻器只能達到1530托。
該冷卻方法與環(huán)境溫度有關,并且當環(huán)境溫度高時,吸入氣體的溫度較高。因此散熱效果不好。另外,這種方法只能避免由于高壓差而產生的高熱量,而不能防止泵在壓縮過程中產生熱量,這會使空間變小,因此受到泵空間的限制。本身。
2.轉子的內部冷卻
為了使羅茨真空泵在更高的壓差下工作,可以采用更有效的冷卻方法,即通過油循環(huán)對轉子進行冷卻,并分別在油口處插入油孔和油徑的軸頭。泵軸的兩端排出。除了冷卻轉子外,冷卻油還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果更好。泵運行時,轉子溫度低于機殼溫度。大型泵經常使用這種方法。
例如,當在80
Torr的壓差下工作時,真空泵的轉子溫度比外殼的溫度低78度。還發(fā)現(xiàn),泵負載越重,空間越大。這是因為轉子是油冷的,并且溫度低于機架的溫度,溫度越高,機架的膨脹越大,軸之間的距離也越大,因此間隙會增加。
由于負載大,轉子與機殼之間的溫差不斷增大,因此間隙不斷增大,這將增加第一反向流量并導致羅茨真空泵的抽速降低。為了克服這一缺陷,當羅茨泵在高負荷下運行時,必須采取有效措施。通常,羅茨真空泵的外殼和轉子是通過油循環(huán)系統(tǒng)同時冷卻的。
3.冷卻轉子油膜。
這種冷卻方法包括將一根油管連接到羅茨真空泵的入口,并使用均勻滴入的冷卻油從轉子上帶走熱量。油通過過濾器和冷卻器,并通過密封良好的油泵,然后通過管道將油輸送到泵的入口。油落到轉子上后,隨著轉子旋轉,它會均勻地出現(xiàn)在轉子表面上。
這不僅從轉子上帶走熱量,而且在兩個轉子的表面上形成油膜,以防止氣體回流,并且還可以去除附著在轉子表面上的細小灰塵。泵出口處有一個油箱,用于收集用過的油,將其過濾并在冷卻后回收。
此方法工作正常。但是,由于泵中有油,因此羅茨泵的無油蒸氣污染真空系統(tǒng)的特性消失了。而且,油具有一定的粘度,這給高速旋轉的羅茨泵的轉子增加了很多摩擦,這當然會增加泵的功耗。所使用的機油要求盡可能更換飽和蒸氣壓。
4.水冷
所謂的“濕根真空泵”是指由級間或兩級泵吸入的空氣被壓縮并通過消音器傳輸,該消音器具有很高的吸收率和相位差。向泵中注入少量水,以消除壓縮空氣產生的熱量。吸入管道安裝在單級或兩級泵組件的吸入端,并連接到真空泵的進氣口。
水是由真空泵產生的真空度吸入的,真空度越高,吸入的水量越大。一個簡單的調節(jié)閥可以確保良好的吸水量,吸水溫度應保持在20度左右,清潔且無鈣。