在我們的經(jīng)濟(jì)發(fā)展過程中,干式真空泵的應(yīng)用場(chǎng)景非常廣泛,如石油氣回收.壓電石英化學(xué)工業(yè).太陽能應(yīng)用.排瓦斯氣體處理.半導(dǎo)體應(yīng)用.教育科學(xué)研究和真空鍍膜等行業(yè)處于蒸鍍階段。
作為干式真空泵選用的一環(huán),干式螺桿真空泵一直是人們的選擇,今天真空泵介紹了干式螺桿式真空泵的原理和選用。
一.干式螺桿真空泵原理介紹
干式螺桿真空泵的原理是利用一對(duì)螺桿,在螺桿真空泵的泵室內(nèi)同步反向高速運(yùn)行,由兩個(gè)轉(zhuǎn)子.泵體和側(cè)蓋組成幾個(gè)室,實(shí)現(xiàn)吸排氣作用的泵機(jī)械設(shè)備。
這些個(gè)的氣室定期地從真空泵的吸氣口側(cè)向排氣口側(cè)“移動(dòng)”,氣體以低速旋轉(zhuǎn)的方式被輸送。
即使真空泵繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),氣體的流動(dòng)也不會(huì)改變,所以能在一定程度上引出可能被氣體夾住的細(xì)微粒子和蒸汽。
干式螺桿真空泵工作時(shí),兩螺桿相互間不產(chǎn)生直接摩擦力,泵室內(nèi)不需潤滑油,運(yùn)行中機(jī)械平穩(wěn),發(fā)出的聲音小。
與等長螺桿真空泵相比,改變螺距結(jié)構(gòu)的真空泵極限真空度高,有良好的間隙設(shè)計(jì)和連續(xù)壓縮方式,單泵可達(dá)到0.0075torr(0.01 hpa )的極限真空。
能耗更低,變螺距螺桿真空泵的節(jié)能型設(shè)計(jì)理念,可使能耗降低30%,是油封式真空泵的好替代品。
在半導(dǎo)體行業(yè),油封式真空泵可以取代干式螺桿式真空泵,大幅度提高了工作環(huán)境的質(zhì)量,提高了生產(chǎn)的產(chǎn)品品質(zhì)和性能。
干式螺桿真空泵
二.干式螺桿真空泵的選型特點(diǎn)
干式螺桿式真空泵具有良好的制冷方式,市售的干式真空泵多使用茄克衫冷卻水蒸發(fā)制冷轉(zhuǎn)子,干式真空泵采用符合流體動(dòng)力學(xué)的螺旋狀冷卻水茄克衫結(jié)構(gòu),提高了熱交換效率,產(chǎn)生了更好的蒸發(fā)制冷效果,干式真空泵的泵室內(nèi)部也合理維持了低溫度
眾所周知,溶液中的酸性絡(luò)離子和堿性絡(luò)離子與金屬發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí),金屬就會(huì)腐蝕,溫度越高化學(xué)反應(yīng)越快,腐蝕速度越快。
一般的真空泵采用耐腐蝕材質(zhì),或者轉(zhuǎn)子使用耐腐蝕性的涂層材料來延遲腐蝕速率。
利用氣鎮(zhèn)閥裝置降低腐食性瓦斯氣體的分壓,能夠防止腐食性瓦斯氣體在泵室內(nèi)凝結(jié),進(jìn)一步提高真空泵的耐腐蝕性能力。
制造的干式螺桿真空泵有以下優(yōu)點(diǎn)
1.清潔環(huán)境保護(hù):工作室內(nèi)無其他雜質(zhì),可獲得清潔真空
2.真空度高:間隙設(shè)計(jì)和壓縮方式良好
3.防腐設(shè)計(jì):耐腐蝕的性涂層材料,瓦斯氣體鎮(zhèn)閥裝置
4.蒸發(fā)制冷效果:采用符合流體動(dòng)力學(xué)的螺旋狀冷卻水茄克衫
5.節(jié)能:可變螺距螺桿的節(jié)能型設(shè)計(jì)
6.成本低:無污染.無污染.無廢棄排放處理成本.維護(hù)成本低.在泵出口回收排放瓦斯氣體.綜合成本低.工程成本低
7.開車很順暢
8.標(biāo)準(zhǔn)配置和輔助設(shè)施完備
9.健全的零配件供應(yīng)和售后服務(wù)。