真空系統(tǒng)實際上是真空機組的類似術語。真空機組是由多個真空泵組成的一套閉環(huán)真空設備。它不一定有一些設備,如散熱器和冷凝器。
但是一般可以稱之為真空系統(tǒng)的是,所有種類的部件都是完整的。真空應用設備有很多種,但無論是哪種真空應用設備,都有一套抽氣系統(tǒng)來排出真空容器中的氣體,從而在真空容器中獲得所需的真空條件。例如,用于真空處理的容器通過管道和閥門與真空泵相連。當真空泵抽空容器時,容器必須具有真空測量裝置,該裝置構成最簡單的真空泵系統(tǒng)。與機組相比,真空系統(tǒng)中有多少臺泵?這是不確定的,讓我們先看看泵的可能名詞解釋。
主泵:在真空系統(tǒng)中,用來獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵是主泵。
前級泵:一種真空泵,用于保持某一真空泵的前級壓力低于其臨界前級壓力。安裝在如羅茨泵前面的旋片泵或滑閥泵是前級泵。
原泵:真空泵,從大氣壓力開始泵送空氣,并將系統(tǒng)壓力泵送到另一臺真空泵開始運行。例如,真空鍍膜機中的滑閥泵就是原油泵。
維護泵:在真空系統(tǒng)中,當空氣量很小時,前級泵不能有效使用。因此,配置一個容量較小的輔助泵來維持主泵的運行,主泵被稱為維護泵。如果擴散泵的出口裝有一個小型旋轉葉片泵,它就是維護泵。
事實上,簡單的真空系統(tǒng)只能獲得粗略的真空,而高真空泵通常串聯(lián)在真空系統(tǒng)中,以獲得比如羅茨泵和螺桿泵更高的真空。當高真空泵串聯(lián)時,通常在高真空泵的入口和出口分別增加閥門,這樣高真空泵可以獨立維持真空。
據(jù)信,如果串聯(lián)的高真空泵是油擴散泵,為了防止大量的油蒸汽回流進入被泵入容器,通常在油擴散泵的入口處增加一個——水冷擋板。根據(jù)需要,還可以在管道上增加除塵器、真空繼電器表頭、真空軟連接管道、真空泵入口排氣閥、散熱器等,形成一個比較完善的高真空系統(tǒng)。