干式真空泵已經(jīng)出現(xiàn)了很長時間，但沒有明確的定義。就更換油封機(jī)械泵而言，一般認(rèn)為它們可以在從大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作。在泵的抽氣流道(如泵室)，沒有油和液體可以使用，排氣口與大氣相通，并能不斷向大氣排放氣體的泵稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。
市場上有許多類型的干式真空泵。根據(jù)其基本原則，只有兩種類型，即：
(1)容積式干式真空泵，如多級羅茨泵、爪式泵、往復(fù)活塞泵、螺桿泵和渦旋泵等。該干式真空泵的極限壓力一般為0.1~10Pa，泵送速度為0.01 ~
0.04m3/s
(2)動量傳遞型無油真空泵，如渦輪式油泵。排氣側(cè)與大氣相連，在連續(xù)流動狀態(tài)下壓縮相對較高。這是一個粗糙的泵，可以從大氣壓力泵1022帕。該結(jié)構(gòu)采用徑向流和周向流泵的復(fù)合結(jié)構(gòu)，采用多級串聯(lián)泵送。該渦輪泵的極限壓力約為10-2Pa，泵送速度為0.02-0.15
m3/s。牽引型干式真空泵也屬于動量傳遞型干式真空泵。
與油封機(jī)械泵相比，這些干式真空泵達(dá)到相同的極限壓力，其殘余氣體成分完全不同。分析結(jié)果表明，CnHm氣體(烴類氣體)是油封泵殘余氣體的主要成分，而干式真空泵的殘余氣體是空氣成分。這證實(shí)了干式真空泵的抽真空過程中沒有油污染。
一些螺桿干式真空泵廠家在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中仍使用潤滑油，如泵的傳動齒輪和軸承，也使用合成油，如真空油和其他潤滑脂。采取了某些措施來防止油蒸汽出現(xiàn)在泵室中。嚴(yán)格地說，它不是無油泵。然而，經(jīng)過分析，這種合成油的成分在泵入口處可以忽略不計(jì)，并且沒有影響。