進口真空泵,凡是利用機械運動(轉(zhuǎn)動或滑動)以獲得真空的泵,稱為機械真空泵。
(1)按真空泵的工作原理分類
?、俪槌?,真空泵抽吸系統(tǒng)中的氣體,并將氣體分子排至系統(tǒng)之外。
?、诓都健U婵毡貌都到y(tǒng)中的氣體分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)。
(2)按真空泵結(jié)構(gòu)分類
①機械式。這類真空泵類似于壓縮機,屬于容積型的有往復式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu),還有屬于動力式的渦輪分子泵,它們都屬于抽除式真空泵。
?、趪娚浔?。有噴射泵與擴散泵兩種形式,還有將二者組合在一起的增壓泵,也都屬于抽除式真空泵。
?、畚健R揽课锢砘蚧瘜W方法使氣體分子吸著在泵壁表面,屬于捕集式真空泵。
(3)按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類
?、僦鞒闅獗谩崿F(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。
?、陬A抽氣泵。當主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時,需要預抽泵先抽至某一壓力,主抽氣泵方能進入工作。
?、?a href="http://by37.cn/ProductsSt_zkb.html" target="_self" title="前級泵">前級泵。當主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時,需串接前級泵排送。
?、芫S持泵。當主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后,由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因,壓力可能升高,因此用維持泵繼續(xù)抽吸。