在真空泵中，真空泵油不但作為得到真空泵的物質，并且還具有潤化、制冷和密封性機械設備磨擦點的功效。它是真空泵油最重要的性能。因為真空泵規(guī)定高真空值，一般應用石臘基窄餾分潤滑脂。針對外擴散真空泵，還可以應用甲基硅油或別的低蒸汽壓的合成機油。
真空泵室的內部容量持續(xù)轉變，產生排氣管效用，這就規(guī)定真空泵油應具備適合的黏度和粘溫特點，伴隨著真空泵持續(xù)髙速發(fā)展趨勢。因為滑片與泵殼中間的髙速磨擦，油溫升高，成品油非常容易氧化分解。非常地，真空泵一般工作中在高的溫度環(huán)境中工作，這提升了系統軟件中的蒸汽壓并減少了真空值。因而，規(guī)定真空泵油具備優(yōu)良的苛化可靠性。
假如被真空泵吸進的汽體是腐蝕的，它將與油反映并浸蝕泵中的部件。吸進的空氣中一般帶有水蒸汽和凝結水，這會造成
真空泵油乳化和金屬腐蝕。因而，規(guī)定真空泵具備優(yōu)良的耐蝕性和抗乳化性。真空泵不可以帶上質輕部件，以防危害真空泵油的飽和狀態(tài)蒸汽壓。以便避免氣體進到真空泵的自動排氣閥，真空泵油在相對速度的部件(電機轉子和電機定子、電機轉子板和轉子槽等)中間具有空隙密封性的功效)。
真空泵中的真空泵油將在應用一段時間后拆換。比如，裂化、空氣氧化轉性、由機械設備地應力造成的化學變化轉性、由水蒸氣和可冷疑汽體造成的水解反應乳化、由有機化學融解造成的性能轉變、由塵土堆積造成的黏度提升等。在這類狀況下，真空泵油品已不可以考慮真空泵一切正常運作的規(guī)定，造成
真空泵脆化、起動艱難、泵溫升高、噪聲擴大等狀況。這時，務必立即拆換新的真空泵油，以確保真空泵的一切正常運作，增加泵的使用期。
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