許多工廠都增加了真空泵系統(tǒng),但我們不知道如何操作真空系統(tǒng)檢漏。今天我們將介紹定義和方法。
一、泄漏率的定義和單位
對(duì)于容積為v的容器,單位時(shí)間內(nèi)壓力變化δP與容器容積v的乘積為泄漏率:
q=V *δP/δt
常見的泄漏速率單位為: pa.m/s、mbar.l/s、torr.l/s
泄漏率實(shí)際上反映了一定時(shí)間內(nèi)泄漏氣體分子的數(shù)量。嚴(yán)格地說,一個(gè)沒有泄漏的系統(tǒng)不是
有。泄漏檢測(cè)的目的是將泄漏率控制在可接受的水平,而不影響系統(tǒng)的正常運(yùn)行。
幾種真空系統(tǒng)泄漏檢測(cè)方法及應(yīng)用
(1)氣泡法檢漏
將壓制好的試件浸入水箱中或使用肥皂泡法。氣泡可以反映泄漏率。這種方法通常用于檢測(cè)一些小物品。例如,工藝氣瓶泄漏檢測(cè)、配氣盤泄漏檢測(cè)、磁控靶泄漏檢測(cè)、弧源水冷座泄漏檢測(cè)、真空室水冷套泄漏檢測(cè)等。雖然不能定量檢測(cè)泄漏率的大小,但確定是否存在泄漏,是一種非常簡單有效的泄漏檢測(cè)方法。
(2)壓降法檢漏
增加正壓或?qū)⒃嚰檎婵罩烈欢▔毫Γ缓箨P(guān)閉閥門,通過真空計(jì)觀察單位時(shí)間內(nèi)的壓力變化。真空壓降法可用于評(píng)估泄漏率。泄漏檢測(cè)是一項(xiàng)非常重要的技術(shù)指標(biāo),可以作為設(shè)備驗(yàn)收的標(biāo)準(zhǔn)。
(3)氣體檢測(cè)法檢漏
氣體檢測(cè)方法可分為:氨檢漏法、鹵素檢漏法和氦質(zhì)譜檢漏法,其中氦質(zhì)譜檢漏法是最常用和最常見的。與其他氣體相比,氦有許多優(yōu)點(diǎn),例如:不可燃、無毒、價(jià)格合適、非常輕、化學(xué)性質(zhì)惰性、氣體分子小等。
使用檢漏儀:的注意事項(xiàng)
掌握適當(dāng)?shù)膰娚鋾r(shí)間。
泄漏檢測(cè)的順序。從上到下,從遠(yuǎn)到近吹。
使用前需要校準(zhǔn)。