在《真空系統(tǒng)中金屬材料的出氣來源》中,螺桿真空泵制造商介紹了真空系統(tǒng)中的金屬廢氣主要來自兩個方面。接下來,讓我們了解通用金屬零件的脫氣方法。
通常情況下,真空系統(tǒng)中的金屬零件和真空室外殼可以通過真空烘烤進(jìn)行脫氣。清潔后殘留的揮發(fā)性雜質(zhì),氧化物以及各種有機(jī)和無機(jī)污染物可以更輕松地在真空中去除;此外,在真空環(huán)境中的擴(kuò)散效應(yīng)也有利于去除金屬中的雜質(zhì)原子并減少材料中的氣體含量。隨著溫度的升高,金屬表面上的解吸氣體量和從金屬表面擴(kuò)散的氣體量都將增加。身體會增加。因此,金屬材料通常被加熱到可以承受脫氣的最高溫度。
在對金屬零件進(jìn)行真空烘烤和脫氣之前,必須對表面進(jìn)行除油,清除表面上的氧化層和其他污染物,然后在真空中加熱進(jìn)行脫氣。真空烘烤脫氣通常在10 ^
-2?10 ^
-3Pa的壓力下進(jìn)行。同時,通常選擇最高的烘烤溫度作為材料的退火溫度。這不僅保證了良好的真空性能,而且消除了金屬零件。加工過程中的內(nèi)應(yīng)力。但是對于不同材料的金屬零件,烘烤溫度和時間會有所不同。對于托架和彈簧之類的預(yù)應(yīng)力零件,烘烤溫度需要低于退火溫度。鋁制零件由于熔點較低而無法烘烤。
500℃以上;對于厚壁或直徑較大的零件,應(yīng)適當(dāng)延長烘烤時間。
另外,實際上,對于真空工程中常用的不銹鋼和鋁或鋁合金材料,真空烘烤脫氣和輝光排出脫氣的效果大致相同,但是脫附材料的組成不同。真空烘烤脫氣的殘余氣體主要由二氧化碳,一氧化碳,水和氫氣組成,而輝光放電脫氣的殘余氣體主要為氫氣。
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