市場上真空泵那么多,選擇時(shí)需要注意什么?下面我們就來告訴大家這些注意點(diǎn).
? ? ? 1.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。
例如,真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg,所選真空泵的真空度必須至少為5 ×
10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設(shè)備的真空高一半數(shù)量級。
2.正確選擇真空泵的工作點(diǎn)。
每個泵都有一定的工作壓力范圍,例如:擴(kuò)散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi),泵的抽速隨壓力而變化,其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5 ×
10-4?5 ×
10-6mmHg。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇,并且不應(yīng)在10-8mmHg的環(huán)境下長時(shí)間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作,但其工作壓力應(yīng)小于10-20mm
10-5mmHg。
3.真空泵應(yīng)該能夠在真空設(shè)備的工作壓力下清除真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。
4.正確組合真空泵。
由于真空泵具有選擇性泵送功能,因此有時(shí)一個泵無法滿足泵送要求,因此需要組合多個泵以相互補(bǔ)充才能滿足泵送要求。例如,鈦升華泵對氫的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當(dāng)結(jié)合使用時(shí),真空裝置將具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓,因此需要前級泵,因此必須將這些泵組合在一起。
5.真空設(shè)備油污的要求。
如果嚴(yán)格要求設(shè)備無油,則應(yīng)選擇各種無油泵,例如:水環(huán)泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,您可以選擇擁有一個油泵,再加上一些油污染措施,例如添加冷阱,擋板,油阱等,也可以達(dá)到清潔真空的要求。
6.了解所泵送氣體的成分。
該氣體不包含可冷凝的蒸氣,粉塵和腐蝕性。選擇真空泵時(shí),您需要了解氣體成分并為泵送的氣體選擇合適的泵。如果氣體中包含蒸氣,顆粒和腐蝕性氣體,請考慮在泵的入口管道上安裝輔助設(shè)備,例如冷凝器,集塵器等。
7.真空泵產(chǎn)生的油蒸氣對環(huán)境的影響。
如果環(huán)境不允許污染,則可以選擇無油真空泵或?qū)⒂驼魵馀欧诺酵獠俊?/span>
8.真空泵運(yùn)行期間產(chǎn)生的振動對過程和環(huán)境沒有影響。
如果過程不允許,請選擇無振動的泵或采取防振措施。
9.真空泵的價(jià)格,運(yùn)行和維護(hù)成本。如果獲得許可,請嘗試使用既便宜又好用的真空泵。