真空機組是一系列支撐真空泵真空輔助結構中，各種配管，集成傳感器，真空計，測量裝置，電氣控制系統(tǒng)，這取決于指定的主泵，到真空低真空應用機組的類型，真空泵機組，高和超高真空機組真空機組。

1.低真空設備是采礦大氣式真空泵的大致直的行，正排量往復式泵，水泵，機械密封的泵，螺旋真空泵，真空泵，以及濕式噴射泵，分子篩吸附泵等，一工作高壓的低真空機組，大的位移，用于真空輸送，真空浸漬，真空過濾，真空脫氣真空干燥機等。

2.大部分的真空機組羅茨真空泵機械密封，羅茨真空泵的諸如水的組合和雙環(huán)羅茨真空泵。用無油螺桿真空泵被廣泛使用，羅茨真空泵無油螺桿真空機組被逐漸增加，需要高的泵送速度和獲得的各種真空真空系統(tǒng)，例如，應用程序，如涂層機，真空熔煉真空熱處理和醫(yī)藥化學品，電焊接等行業(yè)。

3.以高真空機組分子流狀態(tài)工作，該范圍內(nèi)的操作壓力10-2?10-6Pa，小排量，泵送速度，泵的主要擴散泵，分子泵，鈦升華泵系，如在低溫冷凝泵不會在空氣直接工作，必須在泵之前被配置等是預先泵送，并且泵被保持為油箱被進一步配置，以防止空氣的壓力波動。

4.在超高真空機組10-6?10-10Pa的壓力范圍，限制到主真空泵10-7?10-8Pa以上時，壓力范圍，以確保由一個材料構成的系統(tǒng)的適當?shù)某樗倌軌虺惺?00?450℃焙燒在高溫下的要求，并確保低泄漏率和空氣的速度。

真空機組系統(tǒng)是一個真空機組密鑰參數(shù)“的真空度（負壓或增壓）”，“流”的數(shù)據(jù)，例如實時監(jiān)測，自動調(diào)整，如“真空包裝”完成“，自動定時關機，啟動”定時定量‘像稱為真空系統(tǒng)控制系統(tǒng)真空過濾’功能。

真空機組作為與智能自動化，已以電子，半導體元件組件，汽車組件，自動搬運機械，輕工機械，醫(yī)療設備，印刷機械，塑料機械，包裝機械，鍛壓機械，機器人等許多系統(tǒng)中的裝置在廣泛的應用領域的各個方面。