真空泵機組已廣泛應用于許多領域：

1.半導體工業(yè)：薄膜制造設備，半導體器件封裝設備;?

2.科學儀器行業(yè)：同步輻射束線機，電子顯微鏡，真空泵單元極光測試設備，分析測試設備;?

3.機械設備行業(yè)：材料制備設備，真空檢測設備，真空過濾設備，物料凈化設備，超高真空排氣設備;?

4.醫(yī)療器械行業(yè)：牙科設備，透析機;

5.生物制品業(yè)：材料凈化和藥物制備;

6.包裝行業(yè)：食品，醫(yī)藥，生物制品等包裝設備;?

7.真空冶金行業(yè)：真空爐，納米材料制備設備，真空檢測設備等領域。

真空泵是獲得無油真空系統(tǒng)作為分子泵和小型低溫泵的前級泵的最佳配置。其主要運動部件只有一個動渦旋，因此動力傳遞簡單，在相同尺寸下運動半徑小，零件小，結構簡單緊湊，整機尺寸小，介于兩者之間移動和靜止渦旋，移動板和泵腔室之間的間隙很小，泵中的運動部件與泵腔沒有摩擦，因此幾乎沒有磨損，運行穩(wěn)定，功耗低，氣流小損耗小，工作可靠性高，使用壽命長，易于維護，維護成本低，容積效率高。高。風冷，無需水冷。

真空泵在很寬的壓力范圍內具有高壓縮比和穩(wěn)定的抽速。由于壓縮室的容積變化是連續(xù)的，因此驅動轉矩變化小，功率變化小，振動噪聲低。不提供干式真空泵的類型。為了達到渦旋泵有效運行的目的，滾動管必須在每個真空室中牢固地嚙合，以避免由于真空室之間的大的壓力差，熱變形和部件而導致的渦旋壁力的惡化。排氣室。高壓氣體保留和降低真空泵效率。因此，必須確保渦旋輪廓之間的精確容納和嚙合，以控制工作介質的泄漏，并實現(xiàn)泵送的目的。這是真空泵結構設計的重要基礎。在泵送氣流路徑中，不需要使用任何油和密封液體作為介質，并且可移動和靜止渦旋件相對旋轉以形成吸入腔室和壓縮腔室以被泵送氣體排出，并且吸入，壓縮和排氣過程不斷完成。 因此，如何防止泄漏解決密封問題尤為重要。真空泵的密封件主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封和徑向嚙合間隙的切向密封，即齒側密封。