半導(dǎo)體制造業(yè)中有許多不同的真空泵。我們將其分為兩類(lèi):主泵和高級(jí)真空泵。主泵在腔體中產(chǎn)生粗糙的中間真空有多種用途。在集成的多腔設(shè)備中清空容納硅晶片的區(qū)域;為高級(jí)真空泵泵送空氣。先進(jìn)的真空泵用于獲得10-3 Torr到10-9 Torr? 的壓力范圍以及超高真空。新晶圓廠使用的現(xiàn)代真空泵是干燥的,這意味著內(nèi)部沒(méi)有油或潤(rùn)滑劑會(huì)回流到處理室并污染硅晶圓。
螺桿泵特點(diǎn):
1.轉(zhuǎn)子輪廓嚙合均勻,密封性好,抽氣效率高。
2.最終真空度高,最大壓力可達(dá)到0.2 Pa。
3.進(jìn)口螺桿轉(zhuǎn)子專(zhuān)用加工中心一批,加工精度高,產(chǎn)品性能穩(wěn)定。
4.螺桿泵的所有轉(zhuǎn)子都經(jīng)過(guò)了G1動(dòng)態(tài)平衡測(cè)試,并且在運(yùn)行過(guò)程中泵的振動(dòng)很小。
5.泵標(biāo)配了定制的電動(dòng)機(jī),并且在泵的油腔和電動(dòng)機(jī)之間形成封閉結(jié)構(gòu),從而消除了電動(dòng)機(jī)端部的動(dòng)態(tài)軸伸密封,并消除了機(jī)油泄漏引擎末端出現(xiàn)問(wèn)題。
6.泵標(biāo)配特殊的可拆洗消音器,具有良好的降噪效果和低噪音,同時(shí)易于拆卸,清洗和維護(hù)。
7.螺桿泵結(jié)構(gòu)合理,可以適應(yīng)多種保養(yǎng)和維護(hù)措施,針對(duì)各種對(duì)泵有害的情況具有相應(yīng)的處理方法,可以配備相應(yīng)的結(jié)構(gòu)或附件,具有很大的相關(guān)性。維護(hù)效果好,操作簡(jiǎn)單,處理時(shí)間短,可以更好地保證設(shè)備的正常運(yùn)行。