只有在清潔螺桿真空泵的內部和外部時，才能保證其使用效果。除了諸如鐵銹之類的一些雜質外，諸如灰塵之類的一般雜質也很容易清潔，不需要大的工程來清潔它們。那么如何吹掃螺桿真空泵?
1、清洗吹掃
清洗吹掃用于抽除腐蝕、有毒或是粘稠物。停泵前，關閉真空泵的進氣口閥門，在進氣口充入氮氣或水蒸氣后運轉20到30分鐘，吹掃腔體內螺桿，清洗腔體內殘留的廢氣或表面粘附的粘稠物質。
2、冷卻吹掃
冷卻吹掃用于螺桿轉子及螺桿真空泵內部腔體的冷卻。進氣口吸入的工藝氣體隨著螺桿轉子的轉動被壓縮并送到排氣口，壓縮過程中氣體溫度升高，目的是為了保護真空泵不會因為過熱而被卡住。空氣會被用來作為冷卻吹掃介質，但在特殊情況下則用氮氣或冷卻后的工藝氣體作為吹掃介質。在排氣口附近安裝有一個過濾器來吸入空氣以實現(xiàn)冷卻吹掃。
3、密封吹掃
密封吹掃是用氮氣加壓于螺桿真空泵的前端蓋內，使得工藝氣體或液體不能進入裝有齒輪及軸承的油箱。兩個氮氣接入口，位于前端蓋的頂端。氮氣吹掃的壓力≤0.5bar。
螺桿真空泵工作效率高，并且里面的干凈程度會對泵的運行等產生影響，通過吹掃的方式清潔泵，不僅清潔效率高，而且減少灰塵堆積。