真空設(shè)備產(chǎn)品可分為五類:
(1)真空采集設(shè)備:產(chǎn)生,增強(qiáng)或維持真空的設(shè)備。包括各種用于粗,低,中,高和超高的真空泵和真空裝置。
A.機(jī)械真空泵:旋片泵,往復(fù)泵,滑閥泵,羅茨泵,分子泵和液環(huán)泵。 B.蒸汽真空泵:蒸汽噴射泵,增壓泵和擴(kuò)散泵等。
C.氣體捕集真空泵:鈦濺射離子泵,低溫泵,分子篩吸附泵和鋁鋯吸氣泵等。 D.真空機(jī)組:由真空產(chǎn)生,真空測(cè)量和真空控制等組件組成的各種機(jī)組。
(2)真空施涂設(shè)備真空環(huán)境(大氣中處于氣態(tài)),各種施涂設(shè)備A,真空鍍膜機(jī):蒸發(fā)鍍膜機(jī),帶磁控管的濺射鍍膜機(jī),離子鍍膜機(jī)和等離子化學(xué)沉積設(shè)備等。
B.真空熔爐:電阻爐,電子束爐,電弧爐,感應(yīng)爐和單晶爐等。 C.真空熱處理爐:淬火爐,回火爐,退火爐,滲碳爐,滲氮爐,金屬化爐等。
D.其他真空設(shè)備:冷凍干燥設(shè)備,蒸餾設(shè)備,凈化設(shè)備,浸漬設(shè)備,果蔬保鮮設(shè)備,運(yùn)輸設(shè)備,空間模擬設(shè)備,包裝機(jī)和鑄鋼脫氣設(shè)備等。
(3)真空測(cè)量?jī)x器:一種測(cè)量大氣以下的氣體和蒸汽壓力的儀器。 A.低真空計(jì)(測(cè)量范圍105-102Pa)。
B.中真空壓力表(測(cè)量范圍10-1-10-1Pa)C,高真空壓力表(測(cè)量范圍10-1-10-5Pa)。 D.超高真空壓力表(測(cè)量范圍10-5 Pa)。
(4)真空檢漏儀是一種儀器,用于檢測(cè)真空系統(tǒng)或部件中的泄漏位置或泄漏率。包括高頻火花檢漏儀,鹵素檢漏儀和氦質(zhì)譜檢漏儀。
(5)真空閥,用于安裝流量的組件,用于切割或連接真空系統(tǒng)中的管道。包括擋板閥,擋板閥,電磁閥,電磁皮帶吹掃閥,隔膜閥和調(diào)節(jié)閥等。