真空熱處理工藝的發(fā)展，是與設備的發(fā)展分不開的，提高設備技術水平以適應工藝要求，往往又與配套件技術的發(fā)展密切相關。

　　在1873年發(fā)明白熾燈泡前，主要是用活塞式抽氣機獲得真空，但只能達到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術要求更高的真空度，就促進了真空技術的發(fā)展，因而相繼出現了各種真空泵:旋轉水銀泵(1905年)，油封旋轉泵(1907年)、分子泵(1913年)和擴散泵(1915年)。其中擴散泵的發(fā)明、使真空技術進入高真空度(10-8毛左右)的階段。隨著近代科學技術的發(fā)展，例如加速器、熱核反應裝置，大型真空爐等，都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此，到了60年代初期,擴散泵的排氣速度已達到了數萬升/秒的能力。

　　但是，就真空熱處理所需的真空度而言，一般達到1x10-2~1x10-4乇就足夠了，只在特殊情況下，才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空熱處理爐常用的真空泵，是由機械泵和油蒸發(fā)擴散泵所組成。

　　作為一種運行介質，泵油在真空泵中起著以下重要作用：

　　密封---防止大氣進入排氣閥，有相對運動零件間的間隙密封(轉子與定子、旋片與轉子槽等)。

　　潤滑---相對運動件間的潤滑，降低磨損。

　　冷卻---油在泵內與油箱間循環(huán)，散熱、冷卻。

　　攜裹---將磨損產生的塵?；蚱渌w粒挾裹在油中，減小磨損傷害。

　　保護---形成保護性油膜，避免水及化學蒸汽凝結物腐蝕泵內部件。

　　真空泵油的性能要求：

　　高溫下飽和蒸汽壓要低，易揮發(fā)成分要少。最低的水含量和吸水性。要有一定粘度，且隨溫度變化小(粘度溫升曲線平滑)。潤滑性能好，機械應力下具有良好的抗裂解性?？垢g、抗氧化、化學性能穩(wěn)定。