往復(fù)真空泵(簡(jiǎn)稱往復(fù)泵)，又稱活塞式真空泵，屬于低真空獲取設(shè)備之一。與旋片真空泵相比，它可制成泵速大的泵;與水環(huán)真空泵相比，效率略高。這種泵的主要缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積大、運(yùn)行時(shí)振動(dòng)大等。它可以在許多場(chǎng)合被液環(huán)真空泵取代。

　　往復(fù)真空泵的工作原理：

　　如往復(fù)泵如圖的結(jié)構(gòu)和工作原理所示，主要部件是氣缸1和活塞2，活塞2在氣缸內(nèi)做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，活塞由曲柄連桿機(jī)構(gòu)3(包括十字頭)驅(qū)動(dòng)。除上述主要部件外，還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及發(fā)動(dòng)機(jī)底座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。

　　工作時(shí)，氣缸內(nèi)的活塞在電機(jī)驅(qū)動(dòng)的曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸中從左端移動(dòng)到右端時(shí)，由于氣缸左室的容積不斷增加，氣缸中氣體的密度降低，形成了泵送過(guò)程。此時(shí)，泵送容器中的氣體通過(guò)吸入閥5 進(jìn)入，以泵送主體的左室。當(dāng)活塞到達(dá)最右邊的位置時(shí)，氣缸的左室完全充滿氣體。然后活塞從右端移動(dòng)到左端，此時(shí)吸入閥5關(guān)閉。

　　隨著活塞從右向左移動(dòng)，氣缸中的氣體逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸中的氣體壓力達(dá)到或稍微超過(guò)一個(gè)大氣壓時(shí)，排氣閥4打開(kāi)，將氣體排放到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再次從左向右移動(dòng)時(shí)，重復(fù)前面的循環(huán)，泵送的容器最終達(dá)到某個(gè)穩(wěn)定的平衡壓力。

　　為了提高泵送效率，通常在氣缸的兩端設(shè)置吸氣閥和排氣閥，然后通過(guò)管道將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)。