干式螺桿真空泵是一種在泵殼內(nèi)利用一對螺桿高速同步反轉(zhuǎn)的吸氣設(shè)備。

　　1.特征

　　高可靠性。干式螺桿真空泵零件少，無易損件，運行可靠，使用壽命長。

　　操作和維護方便。

　　良好的動平衡。干式螺桿真空泵無不平衡慣性力，機器高速平穩(wěn)運行。

　　適應(yīng)性強。干式螺桿真空泵具有強制氣體傳輸?shù)奶攸c，在較寬的壓力范圍內(nèi)可以保持較高的泵送速度，并且排量幾乎不受排氣壓力的影響。

　　多相混合運輸。因為干式螺桿真空泵轉(zhuǎn)子的齒表面之間存在小間隙，所以它可以去除腐蝕性、毒性、含塵、可冷凝的蒸汽和其他氣體。

　　2.應(yīng)用

　　干式螺桿真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中，它用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻和生產(chǎn)等離子體。

　　用于真空采集;在化學(xué)工業(yè)中，用于真空蒸餾和溶劑萃取以有效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染和消除噴射器堵塞;在制藥工業(yè)中，它用于回收液體藥物和藥物中間體，為人造器官的生產(chǎn)提供清潔和無菌的條件，并回收氣體消毒劑;在食品工業(yè)中，它用于香料和香精的濃縮，食品包裝等。

　　應(yīng)用范圍非常廣泛。

　　具體應(yīng)用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑回收、油氣回收、工廠一般真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)等行業(yè)可以抽出普通空氣、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，特別是滿足環(huán)境對獲得清潔真空的更高要求。具體應(yīng)用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、單晶提拉、特種氣體制造、離子刻蝕，等。

　　干式真空泵用于氨綸、芳綸、纖維、冶金等紡織、冶金等行業(yè)的相關(guān)工藝，包括真空消泡和VOD真空吹氧脫碳。

　　一個以半導(dǎo)體工業(yè)為代表，它要求真空泵返回泵送空間的流量為零，以保護工件免受污染。半導(dǎo)體行業(yè)對真空系統(tǒng)的要求大致分為三個層次。

　　在清潔條件下排氣，僅干燥空氣或含有少量水蒸氣的空氣。

　　在適當(dāng)?shù)臈l件下，泵出反應(yīng)氣體的過程中，但沒有固體顆粒。

　　在惡劣條件下排氣，去除化學(xué)反應(yīng)物(有毒甚至致癌)和固體顆粒。

　　另一種以石化工業(yè)為代表，它需要真空泵來除去可冷凝氣體、腐蝕性氣體、有毒氣體或含有細(xì)粉塵的氣體。干式螺桿真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中，它用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻和生產(chǎn)等離子體。

　　用于真空采集，在化學(xué)工業(yè)中，用于真空蒸餾和溶劑萃取以有效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染和消除噴射器堵塞;在制藥工業(yè)中，它用于回收液體藥物和藥物中間體，為人造器官的生產(chǎn)提供清潔和無菌的條件，并回收氣體消毒劑;在食品工業(yè)中，它用于香料和香精的濃縮，食品包裝等。