根據(jù)真空系統(tǒng)的不同，所要求的真空度也不同。 因此，很多情況下，必須用一組真空系統(tǒng)來完成。 也就是說，必須用在不同壓力范圍內(nèi)工作的真空泵連接。

　　高真空側(cè)的真空泵可以達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，但低真空側(cè)的真空泵可以直接排氣大氣。 最簡單的真空系統(tǒng)是排出大氣的真空泵。 但是，高真空系統(tǒng)一般需要三級機(jī)組，中真空一般需要二級機(jī)組。

　　一臺高真空泵和一臺低真空泵難以構(gòu)成有效的高真空系統(tǒng)。 這有幾個(gè)理由。 流量的連續(xù)性就是其中之一。 高真空泵有前段耐壓的限制。 也就是說，如果前段高于某個(gè)壓力，泵就不能正常工作。 當(dāng)前級泵達(dá)到該臨界壓力時(shí)，吸引速度減少，前級泵的排氣(651-235 )有可能小于主泵的排氣(651-235 )，該(651-235 )的不一致會破壞(651-235 )連續(xù)性的要求，真空系統(tǒng)必然會正常工作但是，如果在高低真空泵之間連接另一臺真空泵，則發(fā)揮從上到下的作用，流量各泵連續(xù)地以最佳狀態(tài)工作。 羅茨泵可以在中真空范圍內(nèi)工作，因?yàn)樽詈线m，也稱為羅茨加壓泵，壓縮比不高，正好可以連接數(shù)Pa到數(shù)百Pa的范圍。 三級高真空機(jī)組進(jìn)入為高真空度時(shí)，主泵的排氣流量顯著減少，因此此時(shí)，僅用小的前級泵就能維持排氣的連續(xù)性，能夠以實(shí)際運(yùn)用中常采用的方法，減少機(jī)組的能量消耗。

　　高真空機(jī)組經(jīng)常需要三級機(jī)組的另一個(gè)原因是高真空泵吸入壓力的限制。 泵有啟動壓力，傳統(tǒng)的高真空泵在數(shù)Pa的范圍。 因此，前級泵必須吸引到該壓力主泵為止才能工作。 但是，排出大氣的前級泵在達(dá)到該壓力之前經(jīng)常需要很長時(shí)間。 由于泵的吸引速度隨著壓力的下降而減少，所以特別是對周期性排氣的真空系統(tǒng)，要求達(dá)到工作真空度的時(shí)間。 預(yù)備吸引時(shí)間越長，進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長，所以增加一臺真空泵和前級的低真空泵的合作，能在比較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到主泵能工作的壓力，能使系統(tǒng)盡快進(jìn)入工作。

　　羅茨泵和油加壓泵都可以是中真空泵，分子加壓泵具有極高的壓縮比。 這不僅能得到潔凈的真空，而且具有優(yōu)異的高真空性能，同時(shí)在中真空范圍內(nèi)也具有非常強(qiáng)的抽出能力。 因?yàn)樗悄壳拔ㄒ煌瑫r(shí)具有中高真空性能的真空泵，所以只需與低真空泵組合，就能構(gòu)成性能可與三級機(jī)組匹敵的高真空機(jī)組。 具體地說，由于分子加壓泵的耐壓高，所以能夠容易地使前級泵處于高狀態(tài)流量，分子加壓泵的吸入壓力高，減輕了前級泵的預(yù)吸引負(fù)擔(dān)。 分子加壓泵能夠在100-50Pa下工作，前級的泵從大氣到該壓力，基本上遵循每經(jīng)過一段時(shí)間壓力下降一位數(shù)的規(guī)律，因此機(jī)組能夠具有高抽氣效率。 簡化高真空機(jī)組，取消羅茨泵是分子泵的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)。 對于比較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也能適當(dāng)?shù)貜?qiáng)化前級泵的預(yù)吸引能力，進(jìn)一步縮短吸引時(shí)間，預(yù)吸引時(shí)間比整個(gè)排氣過程短，前級泵的使用時(shí)間也短，因此兼有多組預(yù)吸引作用是現(xiàn)實(shí)的。 這大大簡化了規(guī)?；瘧?yīng)用的真空機(jī)組。

　　在一些中真空應(yīng)用中，進(jìn)入需要10-1pa的范圍，這通常很難在羅茨泵的二級機(jī)組中實(shí)現(xiàn)，但由二級羅茨泵連接的三級機(jī)組可以將真空度提高一位進(jìn)入10-1Pa，所以在中真空應(yīng)用中也是三分子加壓泵能在10-1Pa下完全吸引速度，也可以用三級中真空機(jī)組取代二級羅茨泵。 一般來說，長時(shí)間在真空的低端壓力范圍工作的羅茨泵完全可以代替分子加壓泵。 長時(shí)間在中真空的高端壓力范圍內(nèi)工作的羅茨泵應(yīng)該比較少，這個(gè)壓力范圍的前段泵有很強(qiáng)的吸引速度。