進口真空泵是指用機械、化學或物理化學方法對泵送容器進行抽真空的裝置或設備。簡而言之,真空泵是一種使用各種方法來改善、產生和保持封閉空間中的真空的裝置。
進口真空泵的壓力應滿足真空設備的運行壓力要求。例如,真空鉆孔工藝要求工作真空為10毫微克,所選真空泵的真空至少應為2毫微克,可達到1毫微克。通常,真空泵的真空度被選擇為比真空設備運行的真空度高一半到一個數(shù)量級。
進口真空泵對油污染的要求。如果設備不需要油,應選擇各種非油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、低溫泵等。假設要求不苛刻,可以選擇油泵,并采取一些防止油污染的措施,如增加冷阱、擋板、油阱等。也能滿足清潔真空的要求。
真空泵的正確組合。因為真空泵具有選擇性泵送,所以有時一個泵不能滿足泵送要求,需要將幾個泵組合起來以相互補充來滿足泵送要求。例如,鈦泵對氫有很高的泵送速度,但它不能泵送氦,而濺射離子泵(或2型不對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的泵送速度。如果兩者結合,真空設備將獲得更好的真空度。此外,一些真空泵不能在大氣壓下運行,需要預真空;一些進口真空泵的出口壓力低于大氣壓力,需要一個前級泵,所以它們都需要組合使用。
真空泵應能在其工作壓力下排出真空設備過程中產生的所有氣體。
了解待泵送氣體的成分,氣體是否含有可冷凝蒸汽、顆?;覊m、腐蝕性等。選擇真空泵時,必須了解氣體成分,并為泵送的氣體選擇相應的泵。假設氣體含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體,應考慮在泵的入口管道上安裝輔助設備,如冷凝器和集塵器。
如何選擇進口真空泵?每臺泵都有一定的工作壓力計劃,如2BV系列水環(huán)真空泵的工作壓力計劃為760-25兆歐(絕對壓力)。在如此寬的壓力方案中,泵的泵速隨壓力而變化(具體變化見泵的功能曲線),其穩(wěn)定工作壓力計劃為760
~ 60mmHg。因此,泵的工作點應選擇在本方案范圍內,而不是允許其在25 ~ 30兆歐下長時間運行。
進口真空泵運行過程中是否出現(xiàn)振動,對工藝和環(huán)境有無影響。如果工藝不允許,應選擇非振蕩泵或采取防振蕩措施。