1.真空:在真空科學(xué)中，真空指的是給定空間內(nèi)低于大氣壓的氣體狀態(tài)。人們通常稱這種稀薄氣體狀態(tài)為真空狀態(tài)。

　　2.真空度:顧名思義，真空度就是真空度。真空下氣體的厚度通常表示為“高真空”和“低真空”。高真空意味著“好”，低真空意味著“差”。所謂的“真空”是指在給定空間內(nèi)壓力低于101325百帕(即大約1013百帕的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)的氣體狀態(tài)。在真空狀態(tài)下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示。顯然，壓力值越小，氣體越稀薄。

　　3.真空泵極限壓力:真空泵能達(dá)到的最低壓力。

　　4.極度真空:真空容器在充分抽氣后穩(wěn)定在一定的真空度。這種真空度被稱為極度真空。通常真空容器需要12小時的氣體精煉，然后抽真空12小時，最后一小時每10分鐘測量一次，取10次的平均值作為極限真空值。

　　5.大氣壓力:地球表面周圍厚厚的一層大氣對地球表面或表面物體施加的壓力稱為大氣壓力。

　　6.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力:指標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下海平面的大氣壓力。1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760毫微克=101325帕

　　7.絕對壓力和相對壓力:直接作用在容器或物體表面的壓力稱為絕對壓力，絕對壓力值以絕對真空為起點(diǎn)。用壓力計(jì)、真空計(jì)、U形管和其他儀器測量的壓力稱為表壓或相對壓力。

　　8.標(biāo)準(zhǔn)條件:通常指溫度為0℃，壓力為101325帕(1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，760毫米汞柱)的條件。以便在比較氣體體積時有一個統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。除非另有說明，氣體的密度是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下所說的密度。

　　9.泵送速率:在一定的壓力和溫度下，單位時間內(nèi)從泵入口泵出的氣體量稱為泵送速率。泵速的簡稱。

　　10.主泵:在真空系統(tǒng)中，用來獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵。

　　11.前級泵:一種真空泵，用于保持某一真空泵的前級壓力低于其臨界前級壓力。例如，安裝在羅茨真空機(jī)組羅茨真空泵前面的旋葉泵或液環(huán)泵就是前級泵。

　　12.真空計(jì):用來測量真空的儀器。

　　13.真空系統(tǒng):是由真空泵、真空計(jì)、真空容器和真空閥、冷阱等部件組成的抽氣裝置。根據(jù)一定的要求，通過真空管道，具有所需的抽氣功能。它的功能是在指定的時間和空間內(nèi)獲得真空，保持真空，并保證系統(tǒng)中某一工藝過程或物理過程的實(shí)施。

　　14.飽和蒸汽:當(dāng)液體在有限的空間內(nèi)蒸發(fā)時，液體分子通過液面上方的空間進(jìn)入變成蒸汽分子。因?yàn)檎羝肿犹幱谕牧鳠徇\(yùn)動中，它們相互碰撞，并與容器壁和液體表面碰撞。當(dāng)與液體表面碰撞時，一些分子被液體分子吸引并返回到液體中成為液體分子。在蒸發(fā)開始時，進(jìn)入空間中的分子數(shù)量多于返回液體中的分子數(shù)量。隨著蒸發(fā)的繼續(xù)，空間中蒸汽分子的密度不斷增加，因此返回液體中的分子數(shù)量也增加。當(dāng)單位時間內(nèi)空間中的分子數(shù)進(jìn)入等于返回液體中的分子數(shù)時，蒸發(fā)和冷凝處于動態(tài)平衡狀態(tài)。此時，雖然蒸發(fā)和冷凝仍在進(jìn)行，但空間中蒸汽分子的密度不再增加，此時的狀態(tài)稱為飽和狀態(tài)。處于飽和狀態(tài)的液體稱為飽和液體，其相應(yīng)的蒸汽是飽和蒸汽，但最初只是濕飽和蒸汽，只有在蒸汽中的水分完全蒸發(fā)后才是干飽和蒸汽。蒸汽從不飽和到濕飽和再到干飽和的過程溫度不會增加。如果蒸汽在干飽和后繼續(xù)加熱，溫度將上升并變成過熱蒸汽。

　　15.飽和蒸汽壓:蒸氣壓指的是在液體(或者固體)的表面存在著該物質(zhì)的蒸氣，這些蒸氣對液體表面產(chǎn)生的壓強(qiáng)就是該液體的蒸氣壓。 比如，水的表面就有水蒸氣壓，當(dāng)水的蒸氣壓達(dá)到水面上的氣體總壓的時候，水就沸騰。我們通常看到水燒開，就是在100攝氏度時水的蒸氣壓等于一個大氣壓。蒸氣壓隨溫度變化而變化，溫度越高，蒸氣壓越大，當(dāng)然還和液體種類有關(guān)。一定的溫度下，與同種物質(zhì)的液態(tài)(或固態(tài))處于平衡狀態(tài)的蒸氣所產(chǎn)生的壓強(qiáng)叫飽和蒸氣壓，它隨溫度升高而增加。