羅茨真空泵是一種機(jī)械真空泵,具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子。該泵不能單獨(dú)泵送空氣。前級(jí)需要配備油封、水環(huán)等。直接排放空氣。其結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。其吸入口與真空容器或真空系統(tǒng)的主泵相連。真空泵的轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子和泵殼之間沒有接觸。
間隙一般為0.1 ~
0.8毫米;不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉(zhuǎn)子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉(zhuǎn)子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);
羅茨真空泵是一種機(jī)械真空泵,具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子。該泵不能單獨(dú)泵送空氣。前級(jí)需要配備油封、水環(huán)等。直接排放空氣。其結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。其吸入口與真空容器或真空系統(tǒng)的主泵相連。真空泵的轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子和泵殼之間沒有接觸。
間隙一般為0.1 ~
0.8毫米;不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉(zhuǎn)子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉(zhuǎn)子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);單級(jí)的極限真空為6.5×10-2帕,雙級(jí)為1×10-3帕。
羅茨泵的極限真空不僅取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度,還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,羅茨泵可以串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn),泵送的氣體從空氣入口被吸入轉(zhuǎn)子和泵殼之間的空間v0,然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關(guān)閉,泵室內(nèi)的氣體不會(huì)被壓縮和膨脹。然而,當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部圍繞排氣口的邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)并且v0空間與排氣側(cè)連通時(shí),由于排氣側(cè)的高氣體壓力,一些氣體沖回到空間v0中,導(dǎo)致氣體壓力突然增加。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體離開泵。羅茨泵在泵室中,有兩個(gè)“8”形轉(zhuǎn)子安裝在一對(duì)相互垂直的平行軸上,一對(duì)傳動(dòng)比為1的齒輪帶相互反向同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間保持一定的間隙,從而可以實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)。