半導(dǎo)體工藝真空主要用于蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設(shè)備、真空清洗等鍵合工藝。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體,對生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此,半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個安全注意事項如下:
1.定期清潔真空泵及其他附件、過濾器和管道,以避免過壓
在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中,當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過程中通過反應(yīng)室和真空泵時,介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如,SiH4和O2在泵口形成二氧化硅,而四氯化鈦水解形成氯化氫。假設(shè)使用油封機(jī)械泵,這些氣態(tài)物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假設(shè)顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)的形成,可能會堵塞真空泵或管道系統(tǒng),影響真空泵的性能,導(dǎo)致壓力升高或過壓,并帶來更大的風(fēng)險。因此,有必要及時清理,必要時設(shè)置過濾設(shè)備。
2.有效稀釋有害氣體的濃度
半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒有害氣體。因此,在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中,當(dāng)抽取這些介質(zhì)時,有必要防止真空泵或排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如,當(dāng)與空氣或氧氣接觸時,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫氣的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時,也會發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此,當(dāng)半導(dǎo)體真空泵提取這些介質(zhì)時,在壓縮前的當(dāng)前條件下,需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到安全范圍。
3.注意氧氣的濃度
如果空氣中的氧氣濃度過高,燃燒和爆炸風(fēng)險也會發(fā)生。因此,在某些情況下,應(yīng)注意氧氣的濃度,并應(yīng)使用惰性氣體稀釋它,以防止?jié)舛冗^高。假設(shè)油封機(jī)械泵可能需要使用一些惰性氧兼容真空泵油,并及時更換濾油器和油品。
4.防止溫度過高
這一點(diǎn)更容易理解。在半導(dǎo)體在真空泵中的應(yīng)用中,有許多有害氣體。然而,無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵,如果泵腔內(nèi)的溫度過高,易燃、易爆和有毒氣體在高溫下很容易造成危險。
當(dāng)我們使用真空泵時,需要注意導(dǎo)體使用中的安全注意事項,并做好以后的使用工作。