概述螺桿真空泵設(shè)備是一種大批量產(chǎn)品，它是真空工程必不可少的基本組件。近年來(lái)，隨著真空技術(shù)應(yīng)用的不斷擴(kuò)大，各種螺桿真空泵設(shè)備的增長(zhǎng)也非常迅速。為了滿足真空應(yīng)用發(fā)展的需要，特別是老產(chǎn)品不斷更新，新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，真空設(shè)備的開(kāi)發(fā)進(jìn)入了一個(gè)新時(shí)代。其特點(diǎn)是：減少泵的振動(dòng)和噪音，提高長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性，處理大量的可凝性和揮發(fā)性氣體，減少能耗和運(yùn)行成本，消除廢液處理和環(huán)境污染;需要耐腐蝕，耐灰塵和清潔，無(wú)油的真空環(huán)境。
根據(jù)上述要求，獲得真空，以使設(shè)備制造商不斷改進(jìn)舊產(chǎn)品的特性。例如，滑閥泵具有抽速大，性能穩(wěn)定和耐用的特點(diǎn)，但是其運(yùn)動(dòng)部件的慣性力和慣性矩引起的振動(dòng)一直引起人們的關(guān)注。
羅茨泵在清潔或腐蝕過(guò)程中的應(yīng)用在半導(dǎo)體，平板顯示器，薄膜太陽(yáng)能電池和其他工作條件非常惡劣的行業(yè)中，大多數(shù)設(shè)備都使用由羅茨真空泵和干式螺桿真空泵組成的真空裝置。一方面，可以減小干式螺桿真空泵的尺寸，可以提高中真空范圍內(nèi)裝置的抽速，并且可以將極限真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。
根據(jù)羅茨泵的泵送機(jī)構(gòu)，原則上應(yīng)無(wú)油，但是羅茨泵的轉(zhuǎn)子必須由軸承和精密同步齒輪支撐，這需要潤(rùn)滑系統(tǒng)。當(dāng)真空系統(tǒng)去除腐蝕性氣體或蒸氣時(shí)，潤(rùn)滑油也可能被腐蝕。
該密封件具有五點(diǎn)機(jī)械密封件，也就是說(shuō)，除了電動(dòng)真空機(jī)輸入處的機(jī)械密封件外，其他四個(gè)機(jī)械密封件也用作泵室和燃油箱之間的密封件。完全機(jī)械密封的羅茨真空泵特別適合工藝氣體具有高腐蝕性的應(yīng)用。為了防止腐蝕，必須對(duì)羅茨泵暴露于工藝氣體的表面進(jìn)行涂層(Ni0.076mm
+ Cr0.005mm)，并且所有密封材料均為全氟橡膠。
此外，真空泵制造商會(huì)繼續(xù)根據(jù)需要開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，而干式螺桿真空泵已成為真空設(shè)備行業(yè)中最熱門的地方。螺桿真空泵是1990年代出現(xiàn)的理想的干式螺桿真空泵。結(jié)構(gòu)緊湊，抽速高，真空度高，空氣直通，工作部件無(wú)摩擦，使用壽命長(zhǎng)。由于泵室內(nèi)沒(méi)有油和水，因此沒(méi)有油蒸氣排放和廢液處理的問(wèn)題，因此它是本世紀(jì)環(huán)境保護(hù)的首選。
螺桿真空泵的工作原理是一對(duì)同步齒輪帶動(dòng)一對(duì)反向旋轉(zhuǎn)的螺桿保持一定的間隙，實(shí)現(xiàn)非接觸式嚙合。為了減少泄漏，要求螺釘?shù)募庸ぞ容^高。該泵可以處理一定量的含有微小顆粒的液體和工藝氣體，非常適合半導(dǎo)體，太陽(yáng)能膜，化學(xué)，制藥和其他應(yīng)用。