真空泵常用參數(shù)
1.抽氣量(體積流量)(s單位:m3·min-1,m3·s-1,L·s-1)
當(dāng)真空泵配備有標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩并在指定條件下運(yùn)行時(shí),流過測(cè)試罩的氣體流量與在測(cè)試罩上指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。稱為真空泵的抽速。即,在一定的壓力和溫度下,每單位時(shí)間由真空真空泵從抽出的容器中抽出的氣體量。
2.極限壓力(最高真空)(單位:Pa/MPa/mmHg)
真空泵配有標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩,可在指定條件下以穩(wěn)定的最小壓力運(yùn)行,而不會(huì)引入氣體。即,在真空真空泵的入口端被完全泵送之后可以實(shí)現(xiàn)的最低穩(wěn)定壓力。
3.起始?jí)毫?/span>
真空泵啟動(dòng)時(shí)沒有損壞,并具有抽氣壓力
4.前級(jí)壓力
真空真空泵的出口壓力低于一個(gè)大氣壓。
5.最大前級(jí)壓力
超過會(huì)損壞真空泵的前級(jí)壓力。
6.最大工作壓力
入口壓力對(duì)應(yīng)于最大泵送量。在此壓力下,真空泵可以連續(xù)工作而不會(huì)變質(zhì)或損壞。
7.抽氣量(Q單位:Pa·m3·S-1; Pa·L·S-1)
氣流通過真空泵的入口。
8.壓縮比
真空泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
真空泵的極限壓力
真空泵開始工作后不久,出現(xiàn)了最低壓力P'g。真空泵繼續(xù)運(yùn)行。隨著真空泵溫度的升高,真空泵油的飽和蒸汽壓升高,粘度降低,入口壓力略微升高至Pg。
Pg是由真空泵獲得的穩(wěn)定的最小壓力,也是真空泵的極限壓力。
旋片式真空泵的極限壓力與測(cè)量中使用的真空計(jì)的類型有關(guān)。當(dāng)使用壓力表測(cè)量時(shí),最終壓力值比使用導(dǎo)熱真空表(熱電偶或皮克計(jì))測(cè)量的壓力低約一個(gè)數(shù)量級(jí)。這是因?yàn)榍罢咧荒軠y(cè)量永久氣體的分壓,而后者只能測(cè)量加壓氣體的總壓。中國(guó)現(xiàn)行法規(guī)使用壓縮真
空表測(cè)量油封機(jī)械真空泵的極限壓力。
真空泵中的循環(huán)油量也會(huì)影響真空泵的極限壓力。隨著油量的增加,密封效果越好,真空泵的極限壓力與油量之間的關(guān)系發(fā)生變化,最終達(dá)到油的飽和蒸氣壓Po。實(shí)際上,真空泵油中含有大量的空氣和水分。真空泵油進(jìn)入真空泵腔后,真空泵油中吸收的空氣和水分再次釋放,真空泵的極限壓力與油量之間的關(guān)系向上發(fā)展。通常,真空泵油應(yīng)保持在規(guī)定的油位,以保持真空泵的循環(huán)油量恒定。對(duì)于兩級(jí)真空泵,可以在進(jìn)入高真空級(jí)之前先通過低真空級(jí)對(duì)真空泵油進(jìn)行脫氣,這可以減少高真空級(jí)中真空泵油的排放量,從而降低真空泵的極限壓力。