發(fā)布時間:
2022
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03
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08
來源:
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一.干式螺桿真空泵原理介紹 干式螺桿真空泵的原理是利用一對螺桿，在螺桿真空泵的泵室內(nèi)同步反向高速運行，由兩個轉(zhuǎn)子.泵體和側(cè)蓋組成幾個室，實現(xiàn)吸排氣作用的泵機械設(shè)備。這些個的氣室定期地從真空泵的吸氣口側(cè)向排氣口側(cè)“移動”，氣體以低速旋轉(zhuǎn)的方式被輸送。 即使真空泵繼續(xù)運轉(zhuǎn)，氣體的流動也不會改變，所以能在一定程度上引出可能被氣體夾住的細(xì)微粒子和蒸汽?！ 「墒铰輻U真空泵工作時，兩螺桿相互間不產(chǎn)生直接摩擦力，泵室內(nèi)不需潤滑油，運行中機械平穩(wěn)，發(fā)出的聲音小。與等長螺桿真空泵相比，改變螺距結(jié)構(gòu)的真空泵極限真空度高，有良好的間隙設(shè)計和連續(xù)壓縮方式，單泵可達(dá)到0.0075torr(0.01 hpa )的極限真空。 能耗更低，變螺距螺桿真空泵的節(jié)能型設(shè)計理念，可使能耗降低30%，是油封式真空泵的好替代品。 在半導(dǎo)體行業(yè)，干式螺桿式真空泵，大幅度提高了工作環(huán)境的質(zhì)量，提高了生產(chǎn)的產(chǎn)品品質(zhì)和性能?！ 《?干式螺桿真空泵的選型特點 干式螺桿式真空泵具有良好的制冷方式，市售的干式真空泵多使用茄克衫冷卻水蒸發(fā)制冷轉(zhuǎn)子，干式真空泵采用符合流體動力學(xué)的螺旋狀冷卻水茄克衫結(jié)構(gòu)，提高了熱交換效率，產(chǎn)生了更好的蒸發(fā)制冷效果，干式真空泵的泵室內(nèi)部也合理維持了低溫度 眾所周知，溶液中的酸性絡(luò)離子和堿性絡(luò)離子與金屬發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時，金屬就會腐蝕，溫度越高化學(xué)反應(yīng)越快，腐蝕速度越快。一般的真空泵采用耐腐蝕材質(zhì)，或者轉(zhuǎn)子使用耐腐蝕性的涂層材料來延遲腐蝕速率。 利用氣鎮(zhèn)閥裝置降低腐食性瓦斯氣體的分壓，能夠防止腐食性瓦斯氣體在泵室內(nèi)凝結(jié)，進(jìn)一步提高真空泵的耐腐蝕性能力?！ ≈圃斓母墒铰輻U真空泵有以下優(yōu)點 1.清潔環(huán)境保護(hù)：工作室內(nèi)無其他雜質(zhì)，可獲得清潔真空 2.真空度高：間隙設(shè)計和壓縮方式良好 3.防腐設(shè)計：耐腐蝕的性涂層材料，瓦斯氣體鎮(zhèn)閥裝置 4.蒸發(fā)制冷效果：采用符合流體動力學(xué)的螺旋狀冷卻水茄克衫 5.節(jié)能：...