發(fā)布時間:
2019
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07
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24
來源:
102
羅茨真空泵不能單獨使用。必須配備前級泵。前級真空泵用于降低羅茨真空泵的排出壓力。由于羅茨真空泵的壓縮比受到限制，因此選擇前級真空泵的抽速。重要的是，羅茨真空泵的最大壓縮比隨排出壓力而變化。在高排出壓力下，最大壓縮比高達3：1，最高壓縮比為1至10 mbar。介于（1 mbar = 0.75 Torr）至50：1之間，甚至更高。因此，應(yīng)根據(jù)羅茨真空泵的長期工作壓力范圍選擇前級泵的抽速。例如，有一個系統(tǒng)使用羅茨真空泵裝置抽空氣，在1毫巴的入口壓力下需要600升/秒的抽速，并且工作很長時間，詢問前級泵應(yīng)該多少選擇。首先假設(shè)使用30升/秒的前級泵，當K = 20時，壓縮比K = 600:30 = 20，從上圖開始，最大排出壓力為30毫巴。因此，當使用30升/秒的前級泵時，在低于1.5毫巴的入口壓力下工作是可行的，但是當在高于1.5毫巴的入口壓力下操作時使用更大的前級泵。在這種情況下，工作真空在1.5毫巴以下1毫巴，因此30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的泵送要求。另外，應(yīng)該考慮如果正常工作時間長于預(yù)提取時間，則可以選擇較小的前泵。如果真空室很大并且需要預(yù)抽真空，則需要使用較大的前級泵，有時為了更好地利用設(shè)備的效率，該裝置配備了更大的預(yù)泵，這是正常運行后停止，并使用較小的前級泵進行維護，以節(jié)省電力。在選擇前級泵時，還必須考慮羅茨真空泵裝置的最終壓力要求。對于極限真空度（高達1X10-3Pa~1X10-2Pa壓力），兩級旋片式油封機械泵或兩級滑閥機械泵作為前級泵。極端真空需要一個單級油封機械泵作為（1X10-2Pa和1X10-1Pa）之間的前級泵。極限真空要求介于133和1333Pa之間。可以使用往復(fù)式真空泵或液環(huán)真空泵作為前部。當選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1 / 2-1 / 4，不能太大，否則將超過壓縮比。很大，導(dǎo)致羅茨真空...