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2020
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干式真空泵是未來行業(yè)的發(fā)展趨勢。雖然現(xiàn)在用得不多，但除了價(jià)格高之外，也有用戶對干式真空泵不太了解，看不到未來給企業(yè)帶來的經(jīng)濟(jì)效益。小編認(rèn)為干式真空泵的維護(hù)重點(diǎn)在于如何優(yōu)化干式真空泵的選擇。 對于這些不同類型的干式真空泵，我們渴望減小它們的物理尺寸。但這與真空泵的抽吸速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某槲俾逝c真空泵的體積成正比，并且小的物理尺寸意味著小的體積。當(dāng)然，還有另一個(gè)影響真空泵抽速的重要因素，即轉(zhuǎn)速。為了使小型真空泵的抽速與大型真空泵的抽速相匹配，有必要提高其轉(zhuǎn)速。改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器;二是改變變速箱的傳動比。其中，采用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是可以提供閉環(huán)控制，但在重載下容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單速。 現(xiàn)在，我們可以看到有這么多不同設(shè)計(jì)的干式真空泵，每一個(gè)都有自己的特點(diǎn)，優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。長期以來，使用成本是影響人們選擇真空泵的一個(gè)重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性也應(yīng)該考慮在內(nèi)。因?yàn)檎婵毡玫囊馔忮e誤會降低機(jī)器的效率，影響晶圓的生產(chǎn)和交付時(shí)間，甚至?xí)斐杉庸ず蟮木A報(bào)廢和機(jī)器其他部件的損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)是單級設(shè)計(jì)，與多級泵如葉片泵、爪式泵和組合泵相比，使用的零件數(shù)量減少了60%。這使得它在未來的穩(wěn)定性和維護(hù)成本方面具有很大的優(yōu)勢。 總之，如果用戶認(rèn)為功耗對他來說很重要，但氮?dú)?..
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對真空泵的功能有很大影響的主要是：內(nèi)的泄漏、蒸汽、冷凝水的影響、真空泵的布局和環(huán)境等，詳細(xì)看看吧?！ ?、內(nèi)部泄漏 真空泵的噴嘴由兩個(gè)部分組成，這兩個(gè)部分由法蘭連接，對于連接法蘭的泵內(nèi)的真空泵，如果連接部位由于密封等原因產(chǎn)生蒸汽泄漏，則會影響真空泵的功能?！ ? .冷凝水 冷凝水在多級真空泵中有著不重要的位置，為了包管冷凝水可以凝結(jié)蒸汽，真空泵排放壓力中的水蒸氣分壓必須高于其相應(yīng)的蒸汽壓，冷凝水的溫度也低于該壓力下的充實(shí)溫度，泵體可以正常工作。 另外，冷凝器的冷凝功率也非常重要，冷凝器的冷凝作用差，蒸汽不能趕上冷凝，直接進(jìn)入成為下一級泵，增大下一級泵的負(fù)荷，影響泵的抽氣能力。 因此，冷凝水的入口溫度、流量和冷凝器的運(yùn)行狀況對泵的功能有很大影響?！ ?、蒸汽 蒸汽噴出真空泵以過充實(shí)水蒸汽為工作介質(zhì)，蒸汽的狀況對泵的功能有決定性的影響。 濕蒸汽不僅影響泵的功能，還腐蝕蒸汽噴嘴，增加泵的蒸汽使用量，使泵的工作狀況不穩(wěn)定?！ ? .泵體布局對于單級真空泵，磨損簡單的地方是蒸汽噴嘴，噴嘴磨損后，不僅影響泵的功能，而且增加了系統(tǒng)的運(yùn)行資本?！ ∥濉h(huán)境 環(huán)境的影響主要是抽出氣體對系統(tǒng)的污染，在鋼水處理中鋼水釋放出大量的氣體，一部分微細(xì)的氧化粉皮等小粒子被真空泵吸入，這些小粒子堆積附著在泵體上，減少抽出管路的流導(dǎo)，延長抽出時(shí)機(jī)，抽出泵 在選擇真空泵時(shí)，通知您應(yīng)該考慮以下4點(diǎn) 第一，需...
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對水環(huán)真空泵的選擇方法進(jìn)行了詳細(xì)說明，選擇水環(huán)真空泵時(shí)應(yīng)注意哪些問題?！ ∫弧⑺h(huán)真空泵的類型主要取決于工作所需的空氣量、真空度或排氣壓力。 泵工作時(shí)，需要注意以下兩點(diǎn)?！ ? .要求盡可能在高效區(qū)內(nèi)，即臨界真空度或臨界排氣壓力區(qū)內(nèi)運(yùn)行?！ ? .請避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。 在這個(gè)區(qū)域內(nèi)開車不僅效率非常低，而且動作不穩(wěn)定，容易發(fā)生振動和噪音。 在真空度高的真空泵中，在該區(qū)域內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，多發(fā)生氣蝕現(xiàn)象，發(fā)生該現(xiàn)象的明顯標(biāo)識是泵內(nèi)有噪音和振動。 汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等部件損壞，使泵無法工作。 根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度和氣體壓力不高時(shí)，可以從單級泵中優(yōu)先選擇。 如果真空度和排氣壓力高，則可以選擇單級泵不能滿足的情況較多，或者即使是高真空度也要求大氣量，即要求在高真空度下性能曲線平坦的兩級泵。 真空度需要-710mmHg以上時(shí)，抽真空裝置可選擇水環(huán)-大氣泵或水環(huán)羅茨真空單元?！ ≡趦H用于真空泵的情況下，最好使用單動泵。 單作用泵結(jié)構(gòu)簡單，制造和維護(hù)方便，并且在高真空下的耐氣蝕性好。 僅作為大氣量較大的壓縮機(jī)使用時(shí)，選擇雙作用的泵比較合適。 雙作用泵空氣量大，體積小，重量輕，徑向力自動平衡，軸不易產(chǎn)生疲勞破壞，泵壽命長。 二、根據(jù)系統(tǒng)需要的空氣量選擇真空泵 預(yù)先選擇泵的類型后，對于真空泵，根據(jù)系統(tǒng)所需的空氣量選擇泵的類型。 關(guān)于真空泵抽氣速度的選擇和抽氣時(shí)間的修正，...
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旋片真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封機(jī)械真空泵。其工作壓力范圍為101325 ~ 1.33 10-2(帕)，屬于粗真空泵。它可以單獨(dú)使用或作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門?！ ⌒每梢员贸雒芊馊萜髦械母稍餁怏w，如果裝有氣體鎮(zhèn)流裝置，還可以泵出一定量的可冷凝氣體。然而，它不適合抽出含有太多氧氣、對金屬有腐蝕性、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并含有顆?；覊m的氣體?！ ⌒檬钦婵占夹g(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵大多是中小型泵。旋片泵有兩種類型：單級和雙級。所謂兩級泵是將兩個(gè)單級泵串聯(lián)在一起的結(jié)構(gòu)。一般來說，它分為兩個(gè)階段，以獲得更高的真空度。旋片泵的泵送速度與入口壓力的關(guān)系如下：在入口壓力為1333帕、1.33帕和1.33 10-1(帕)時(shí)，泵送速度應(yīng)分別不低于泵標(biāo)稱泵送速度的95%、50%和20%。 旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。轉(zhuǎn)子偏心地安裝在旋片泵的空腔中。轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切(兩者之間有一個(gè)小間隙)，兩個(gè)帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽中。當(dāng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，離心力和彈簧的張力保持旋片的頂端與泵室的內(nèi)壁接觸，并且轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)以驅(qū)動旋片沿著泵室的內(nèi)壁滑動?！ ∮赊D(zhuǎn)子、泵室和兩個(gè)端蓋圍成的月牙形空間分為三個(gè)部分：A、B和C。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向轉(zhuǎn)動時(shí)，與吸入口連通的空間A的容積逐漸增大，并處于吸入過程中。...
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一、安裝水環(huán)真空泵泵軸、軸承部分 1.將泵軸及軸承整體從托架非驅(qū)動端裝入托架，通過敲擊軸承外環(huán)，可以將泵軸裝入托架。注意：敲擊軸承時(shí)，請?jiān)谄涠嗣娣胖脡|片或套筒工具，以免軸承破損。 2.安裝非驅(qū)動端軸承蓋，擰緊螺栓?！ ?.安裝墊圈、驅(qū)動端軸承蓋，擰緊螺栓。用手轉(zhuǎn)動泵軸，使泵軸旋轉(zhuǎn)順暢，教泵軸旋轉(zhuǎn)時(shí)請稍微擰松螺栓，將泵軸調(diào)整為旋轉(zhuǎn)順暢的狀態(tài)?！ ?.安裝扁平鍵、聯(lián)接泵軸部分、聯(lián)接器壓板、鎖緊螺栓?！ 《?、安裝泵體、機(jī)械密封部分 將機(jī)械密封靜環(huán)部分安裝在泵體上安裝機(jī)械密封靜環(huán)部分時(shí)，可以用水浸濕，用手均勻地壓入泵體。小心不要用力過猛!組裝后，檢查機(jī)械密封靜環(huán)部分和泵體是否緊密組裝?！ “驯皿w壓在馬達(dá)上，擰緊螺栓。請注意不要損傷機(jī)械密封的靜環(huán)部分。 在馬達(dá)后罩上安裝墊圈，將泵體、馬達(dá)前罩、軸承、馬達(dá)轉(zhuǎn)子、內(nèi)軸承罩部件安裝到馬達(dá)殼體上，擰緊螺栓。 依次安裝電動機(jī)風(fēng)扇、擋圈、電動機(jī)蓋、螺釘。安裝完成后，使泵的電機(jī)風(fēng)扇護(hù)罩端朝下，垂直于地面，準(zhǔn)備安裝泵的其他部件。 三、安裝葉輪 1.把葉輪壓在軸承上，確保葉輪和泵體的前端面有0.05~0.15mm的間隙。水平放置真空泵，檢查間隙。間隙過小會導(dǎo)致真空泵機(jī)械故障;間隙過大會降低真空泵的排氣速度?！ ?.調(diào)整葉輪與泵體前端面的間隙后，以深度百分之一尺測量泵體外緣與葉輪平面的深度差，確定調(diào)整間隙的保留。 四、安裝泵蓋和圓盤 1.將馬達(dá)...
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像螺桿真空泵這樣的真空設(shè)備在運(yùn)行過程中需要消耗一定量的油，需要隨時(shí)補(bǔ)充油。如果在使用過程中發(fā)現(xiàn)油耗高的現(xiàn)象，應(yīng)及時(shí)發(fā)現(xiàn)原因并相應(yīng)解決。那么真空油耗高的原因是什么呢?應(yīng)該怎么解決? 第一原因： 1.油封損壞或安裝不正確?！ ?.螺桿真空泵出口油封環(huán)磨損?！ ?.油套的損壞或腐蝕會增加泵的油耗?！ ?.進(jìn)油口或出油口的泄漏會增加泵的油耗?！ ?.真空泵體與油封之間的墊片會導(dǎo)致油耗高?！ 〉诙鉀Q 1.更換新油封，檢查進(jìn)油管路。 2.更換螺桿真空泵的密封圈?！ ?.更換油套?！ ?.更換新的O形圈?！ ?.更換墊圈和真空泵油。 螺桿真空泵油耗過高，主要與油封有關(guān)。找到了油耗高的原因。解決問題后，可以降低油耗，節(jié)約大量成本，減少補(bǔ)油次數(shù)，高效使用真空泵。
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真空泵機(jī)組是高效的設(shè)備，所以應(yīng)用比較廣泛，但在使用中壓力低，機(jī)組無法達(dá)到預(yù)期的使用效果，影響正常使用的情況下，壓力低是什么原因，該如何解決呢? 真空泵機(jī)組壓力低的理由主要如下?！ ?.真空泵機(jī)組沒有注水或沒有適當(dāng)?shù)呐艢?，因此可以檢查泵殼和入口管線是否全部充滿液體?！ ?.槽環(huán)太高，檢查現(xiàn)有的網(wǎng)頭。 3.系統(tǒng)水頭太高，檢查系統(tǒng)水頭(特別是摩擦損失)?！ ?.檢查速度太低，電機(jī)接線是否正確，電壓是否正常，或渦輪蒸汽壓力是否正常?！ ?.真空泵機(jī)組的葉輪直徑太小，向制造商咨詢正確的葉輪直徑?！ ?.底部閥或入口管的浸漬深度不足，可以向制造商咨詢正確的浸漬深度，或用擋板除去渦流。 7.檢查壓力表的位置是否正確，位置是否正確，檢查出口噴嘴或配管?！ ?.檢查空氣或入口管線有無泄漏，入口管線有無氣穴或空氣泄漏?！ ≌婵毡脵C(jī)組壓力低的問題可能是一個(gè)或多個(gè)原因共同作用的結(jié)果，如果機(jī)組在運(yùn)行中發(fā)生這樣的問題，請立即停止作業(yè)進(jìn)行檢查，確定發(fā)生問題的原因，針對問題的原因制定處理方案
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