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2020
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單級(jí)旋片真空泵是真空等離子體清洗機(jī)中常用的一種真空泵。由于單級(jí)旋片真空泵工作頻率高,使用時(shí)間長(zhǎng),因此有必要根據(jù)使用要求對(duì)單級(jí)旋片真空泵進(jìn)行定期維護(hù),以避免因長(zhǎng)期不維護(hù)而導(dǎo)致設(shè)備故障。今天,我們將介紹單級(jí)旋片,等離子清洗機(jī)真空泵的維護(hù)方法和注意事項(xiàng),供您參考?! ≡谌粘J褂弥?,我們可以通過(guò)油位窗口定期觀察油位,以確定是否需要添加真空泵專用油,并通過(guò)觀察油位窗口和油路循環(huán)管來(lái)確認(rèn)真空泵油的顏色和狀態(tài)。如果真空泵油顏色深或稠,需要及時(shí)更換真空泵專用油和濾芯,清洗真空泵,進(jìn)行真空泵維護(hù)。 單級(jí)旋片真空泵的組成及維護(hù)對(duì)象 真空等離子清洗機(jī)單級(jí)旋片真空泵的日常維護(hù)主要是機(jī)械泵室、進(jìn)氣口、機(jī)械泵濾油器和真空泵專用油。 單級(jí)旋片真空泵的維護(hù)過(guò)程 真空等離子清洗機(jī)單級(jí)旋片真空泵的維護(hù)過(guò)程如下:排油拆卸過(guò)濾器清洗進(jìn)氣口清洗機(jī)械泵室更換濾油器更換真空泵專用油 放油 單級(jí)旋片真空泵維護(hù)的第一步是排出單級(jí)旋片真空泵的廢油。放油時(shí),需要用扳手打開(kāi)油口的密封蓋,然后打開(kāi)油閥。當(dāng)油箱中的真空泵油基本排出時(shí),傾斜單級(jí)旋片真空泵可以排出泵中更多的廢油?! ∪绻婵毡脤S糜陀峙K又粘,就很難完全釋放或排出,通過(guò)在注油口加壓,可以盡可能多地釋放出更多的廢油?! ∵^(guò)濾器拆除 單級(jí)旋片真空泵維護(hù)的第二步是拆卸單級(jí)旋片真空泵的過(guò)濾器。拆除過(guò)濾器需要用10號(hào)扳手拆除排氣口的固定螺釘,然后拆除排氣口蓋板。此時(shí),可以看到...
2020
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旋片真空泵在除氣器中的應(yīng)用文本:除氣器使用旋片真空泵有兩個(gè)主要原因。一種是將泥漿罐中的氣割泥漿吸至除氣器頂部,使其在擋板、錐體或漏斗上形成薄層流。另一種是排出脫氣槽釋放的氣體和進(jìn)入空氣。旋片真空泵還能產(chǎn)生壓力,通過(guò)細(xì)長(zhǎng)的排氣管排出氣體?! 〈_保浮球始終正常工作非常重要,以防止儲(chǔ)罐中的泥漿液面上升并通過(guò)管道進(jìn)入旋片真空泵。除氣器安裝在真空管路上,通常用于收集熱泥漿中的水蒸氣,并在底部將其冷凝成液體。當(dāng)除氣器關(guān)閉時(shí),水可以被釋放。除氣器的上部設(shè)有帶安全閥的浮球。如果水蒸氣凝結(jié)或真空罐中的液位太高而不能使泥漿脫水進(jìn)入,浮球?qū)㈥P(guān)閉通向真空泵的通道。 當(dāng)除氣器上部的安全閥泄漏并使泥漿進(jìn)入成為真空泵時(shí),缸體、活塞環(huán)和軸承將被研磨。如果發(fā)生這種情況,旋片真空泵必須拆卸并徹底清洗。如果安全閥卡住并打開(kāi),大量的泥漿會(huì)流過(guò)安全閥,損壞閥門、活塞和拉桿。擋泥板進(jìn)入曲軸箱將導(dǎo)致油位上升。這也是浮閥失效的標(biāo)志?! ⌒婵毡迷诔龤馄髦械膽?yīng)用特點(diǎn) 1.泥漿進(jìn)入被旋片真空泵泵入真空罐,氣體被泵出真空罐。真空泵在這里扮演兩個(gè)不同的角色?! ?.在工作過(guò)程中,旋片真空泵始終處于等溫狀態(tài),適用于抽取易燃易爆氣體,安全性能可靠?! ?.泥漿通過(guò)轉(zhuǎn)子的窗口高速射向四壁,泥漿中的氣泡完全破碎,脫氣效果好?! ?.主電機(jī)被偏置,整個(gè)機(jī)器的重心降低。 5.采用皮帶傳動(dòng),避免了減速機(jī)構(gòu)的復(fù)雜化?! ?.汽水分離器的應(yīng)用不會(huì)...
2020
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06
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02
真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)還是比較多的。接下來(lái),介紹我們就來(lái)介紹真空系統(tǒng)的內(nèi)容?! ≌婵障到y(tǒng)簡(jiǎn)介 通過(guò)真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì),在單個(gè)生產(chǎn)機(jī)器上,更多的單個(gè)泵被幾個(gè)更大的真空泵代替。自動(dòng)變頻控制系統(tǒng)通過(guò)儲(chǔ)氣罐的主支管配置并連接到生產(chǎn)機(jī)器上。真空供應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求全自動(dòng),節(jié)能、低成本、維護(hù)方便、性能穩(wěn)定。員工工作區(qū)域的噪音水平大大降低,以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)要求。 真空泵應(yīng)用部分 1.生產(chǎn)用真空主要是通過(guò)高真空減少工作空間的空氣,保持工作空間的清潔。所用真空泵的主要類型包括干式泵(干式螺旋真空泵、爪式泵)、分子泵及其裝置。生產(chǎn)用真空設(shè)備數(shù)量多,功率小?! ?.清潔真空主要利用負(fù)壓和大氣壓之間的差異來(lái)清潔或輸送液體或顆粒。對(duì)于這些應(yīng)用,主要使用水環(huán)泵和多級(jí)離心風(fēng)扇。由于真空度低,通常采用多級(jí)離心風(fēng)機(jī),真空源是其系統(tǒng)的一部分?! ?.工藝真空主要采用工件搬運(yùn)負(fù)壓吸附或夾緊。螺桿泵、爪式泵、水環(huán)泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵和微油螺桿泵等干式泵都是過(guò)程真空中常見(jiàn)的真空設(shè)備。 真空系統(tǒng)的組成 真空泵+控制系統(tǒng)+儲(chǔ)氣罐+管道安裝 半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用安全事項(xiàng): 1、防止真空泵溫度過(guò)高: 真空泵溫度過(guò)高會(huì)影響真空度和排氣量,對(duì)生產(chǎn)有直接影響。在半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中,有害氣體比較多,而無(wú)論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵,泵腔內(nèi)溫度過(guò)高,高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)?! ?、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃...
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06
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09
螺桿真空泵是一種可抽真空的設(shè)備,是替代其他同類產(chǎn)品的工業(yè)生產(chǎn)常用設(shè)備,由于其優(yōu)異的產(chǎn)品性能和優(yōu)越性,在各種環(huán)境技術(shù)中都顯示出極高的穩(wěn)定性。 螺桿真空泵在結(jié)構(gòu)上有什么特點(diǎn)? 讓我們一起調(diào)查一下。 螺桿真空泵在泵室內(nèi)的一對(duì)等速逆轉(zhuǎn)螺桿的作用下,吸引并排出被吸引的氣體,使其成為高真空。 如泵的結(jié)構(gòu)如圖所示,螺桿曲線由阿基米德的螺旋曲線、擺線和圓弧等構(gòu)成。 螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí),兩螺桿之間,螺桿與泵體之間保持一定的間隙,不相互接觸,因此運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵的摩擦損失小,摩擦消耗電力極小,可進(jìn)行高旋轉(zhuǎn)運(yùn)轉(zhuǎn),順暢地壓送到排氣口,排列在泵外。 泵兩側(cè)的密封機(jī)構(gòu)防止齒輪箱內(nèi)的潤(rùn)滑油進(jìn)入泵的進(jìn)氣室內(nèi)進(jìn)入。 泵和馬達(dá)都是橫型結(jié)構(gòu),泵的聯(lián)軸器和馬達(dá)直接連接,單元整體安裝在同一框架上。 為了降低泵的排氣聲,泵的排氣口裝有消音器?! ?gòu)成螺桿真空泵的關(guān)鍵部件如下: 1 .螺桿轉(zhuǎn)子:泵螺桿轉(zhuǎn)子采用高性能球墨鑄鐵,經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的熱處理后,由高精度數(shù)控機(jī)床加工,確保螺桿型線的高精度要求,螺桿加工精度是保證整個(gè)機(jī)械性能的關(guān)鍵。 2 .同步齒輪:同步齒輪是螺桿真空泵的重要部件,同步齒輪不僅對(duì)從動(dòng)螺桿施加足夠的扭矩,還保證反轉(zhuǎn)的兩個(gè)螺桿的嚙合面始終保持一定的間隙,不會(huì)摩擦。 齒輪表面經(jīng)高頻淬火,采用高精度砂輪磨削研磨,泵運(yùn)行噪音小,溫度上升低,保證運(yùn)行順暢?! ? .軸承:泵的固定端采用雙列角接觸球軸承,可動(dòng)端采用高負(fù)荷能力的滾柱軸承。 ...
2020
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06
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如果在真空泵后端的正壓下發(fā)生泄漏,液體會(huì)滲出并容易被發(fā)現(xiàn);但是,前端負(fù)壓下會(huì)發(fā)生泄漏,外面沒(méi)有明顯標(biāo)志,不易發(fā)現(xiàn)。從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看,真空泵將從空氣中吸入大量空氣,導(dǎo)致油箱壓力迅速上升,導(dǎo)致油箱排氣管的排放量增加。因此,在維護(hù)期間有必要檢查真空泵是否泄漏?! ∠旅嫘【幰哉婵毡脼槔榻B一種簡(jiǎn)單易行的方法來(lái)幫助我們判斷真空泵是否有泄漏?! ≈饕獧z查方法是:真空泵運(yùn)行時(shí),完全堵住真空泵的入口,連接水面下的出氣口,觀察是否有氣泡。具體步驟如下: 1 .準(zhǔn)備一根長(zhǎng)約30厘米的軟管,一端有一個(gè)接頭,用于連接真空泵的出口;一個(gè)透明的空塑料瓶(礦泉水瓶就足夠了)裝滿自來(lái)水以備后用。準(zhǔn)備一個(gè)直徑大于真空泵入口直徑的橡膠墊,厚度超過(guò)2mm,橡膠墊應(yīng)盡可能堅(jiān)韌?! ? .當(dāng)真空泵停止運(yùn)行時(shí),斷開(kāi)其入口和出口處的管接頭,并在出口處連接準(zhǔn)備好的軟管?! ? .試著啟動(dòng)真空泵,使其處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。用橡膠墊密封真空泵入口,確保無(wú)空氣泄漏?! ? .將軟管插入塑料瓶的水面下,觀察是否有氣泡。如果軟管插入水中時(shí)沒(méi)有氣泡出現(xiàn),真空泵密封良好,沒(méi)有泄漏。另一方面,如果有氣泡,真空泵正在泄漏?! ∽⒁猓涸跈z查開(kāi)始時(shí),在將出口處的軟管插入水中之前,一定要密封真空泵的入口。檢查真空泵參數(shù)后,先將軟管從水中取出,然后取下入口處的橡膠墊,否則會(huì)濺出水花!
2020
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06
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真空泵的高溫是什么原因,又用什么方法解決? 接下來(lái),小編介紹一下,希望能對(duì)真空泵的使用有所幫助?! ≌婵毡酶邷卦蚍治觯骸 ?.電機(jī)功率過(guò)大,工作電流大,熱功率也大?! ?.風(fēng)扇葉片少,產(chǎn)生的風(fēng)量少,所以不能散熱?! ?.由于風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)低,風(fēng)量小。 4.真空泵電機(jī)的母線電壓為380V,符合電纜的電壓降和分配的不均勻性,所以電機(jī)施加低于380V的電壓,為了保證電力不變,電流增大,熱電力變大?! ?.電機(jī)上附著灰塵、油污等污垢,散熱功能下降?! ≌婵毡脧S家的真空泵降溫方法: 馬達(dá)的功率、轉(zhuǎn)速與真空泵一致,不能變更。 風(fēng)扇安裝在電動(dòng)機(jī)主軸上,根據(jù)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速?zèng)Q定風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速,所以不能變更。 增加風(fēng)扇葉片的數(shù)量可以起到一定的作用,但是葉片增加的話,原來(lái)的動(dòng)平衡就會(huì)崩潰,需要尋找新的動(dòng)平衡。 找到新的動(dòng)平衡并不容易。 動(dòng)平衡不同,會(huì)引起電動(dòng)機(jī)的劇烈振動(dòng)。 因此,一般采取了以下方法: 1.將原來(lái)的風(fēng)扇蓋加長(zhǎng)40cm,設(shè)置了與風(fēng)扇通徑的軸流風(fēng)扇,軸流風(fēng)扇的電動(dòng)機(jī)功率要求為850w、轉(zhuǎn)速14889r/min、電壓380v。 原來(lái)的粉絲還在。 軸流風(fēng)扇設(shè)在別的電源控制中,真空泵啟動(dòng)后,軸流風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn),真空泵停止后,在30min停止軸流風(fēng)扇,充分冷卻主馬達(dá)?! ?.保持馬達(dá)的清潔和清潔,定期清除馬達(dá)上的污垢,提高散熱能力?! ?.把真空泵的母線電壓提高到400v。
2020
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06
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旋片真空泵的噪音,通常是指泵溫度穩(wěn)定時(shí),在極限真空下測(cè)得的噪音水平。 包括泵本身的噪音和馬達(dá)噪音,對(duì)用戶來(lái)說(shuō),與泵溫度不穩(wěn)定時(shí)啟動(dòng)階段的噪音不同的入口壓力下運(yùn)轉(zhuǎn)的噪音,還有開(kāi)氣町工作中的噪音也很關(guān)心。 因此,必須考慮各種影響因素。 根據(jù)發(fā)音部位的不同,旋片真空泵的噪音有以下可能性 (1)旋片與氣缸體的碰撞、泵剩馀容積和排氣死亡間隙中的壓力油的發(fā)音 (2)排氣閥座與支撐部件的碰撞 (3)箱體內(nèi)的回聲和氣泡破裂音 (4)軸承噪音 (5)大量氣體、油撞擊擋板等引起的噪音 (6)其他。 傳動(dòng)引起的噪音、空冷泵的風(fēng)扇噪音等。 (7)電機(jī)噪聲,這是重要的因素?! ⌒婵毡迷O(shè)計(jì)過(guò)程的建議如下: 1 .旋片與氣缸壁的碰撞 如果設(shè)計(jì)、制造或材料不正確,刀片的滑動(dòng)會(huì)變差,或者有排氣的死區(qū),因此無(wú)法壓縮的油無(wú)法使刀片的頭部總是緊貼氣缸壁進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn),就會(huì)對(duì)刀片的氣缸壁產(chǎn)生沖擊音。 因此,最好采用用圓弧面隔開(kāi)進(jìn)氣口的結(jié)構(gòu)。 用排氣槽消除死區(qū)。 采用線路分隔結(jié)構(gòu)時(shí),請(qǐng)盡量縮短從排氣終點(diǎn)到接點(diǎn)的距離。 對(duì)于70l/s以下的回轉(zhuǎn)泵,考慮到回轉(zhuǎn)的實(shí)際厚度,建議采用7~lomm、大的泵。 最近,由于轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)子槽的存在和轉(zhuǎn)子頭部只有一根膠帶接觸,所以轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到接點(diǎn)位置時(shí),如果密封效果差,就會(huì)影響泵的吸引速度和極限壓力。 可以看出,該結(jié)構(gòu)無(wú)法完全消除排氣的死區(qū),噪音水平受到限制?! ×硗?,如果旋片與槽...
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