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干式螺桿真空泵制造商介紹了水環(huán)真空泵的一些基本原理以及與干式螺桿真空泵的一些基本比較。在引言中，我們都提到水環(huán)真空泵的極限壓力約為2千帕。什么導(dǎo)致水環(huán)真空泵的極限壓力? 在原文章中，干式螺桿真空泵制造商還提到水環(huán)真空泵的極限壓力受其工作流體的限制，最常見的是——水。它受工作流體限制的原因是它們的飽和蒸汽壓。 我們知道液體會(huì)蒸發(fā)，也就是說，液體表面的分子會(huì)不斷地從液體中逸出，進(jìn)入液體的外層空間。溫度越高，壓力越低，蒸發(fā)越強(qiáng)烈。液體的蒸汽壓是液體表面蒸發(fā)氣體產(chǎn)生的壓力。在封閉條件和特定溫度下，當(dāng)液體的蒸發(fā)和冷凝處于動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，液體所處的蒸汽壓是其飽和蒸汽壓。同時(shí)，液體蒸發(fā)的逆過程是冷凝?！ ‘?dāng)液體的表面壓力小于飽和蒸汽壓時(shí)，液體處于不飽和狀態(tài)，蒸發(fā)量大于冷凝量，液體不斷蒸發(fā);當(dāng)液體的表面壓力大于飽和蒸汽壓時(shí)，液體蒸汽處于過飽和狀態(tài)并被壓縮，此時(shí)發(fā)生大量冷凝，這比蒸發(fā)量大得多?！ ⊥ㄟ^水的三相圖，我們可以看到它在不同壓力和溫度下的狀態(tài)變化?！ ≡谶@種物理特性下，由于低壓低于液體的飽和蒸汽壓，真空中的液體壓力將產(chǎn)生大量蒸發(fā)，從而成為真空中的氣體源。然而，水環(huán)真空泵在工作過程中需要水作為工作介質(zhì)。水的飽和蒸汽壓在20℃時(shí)約為2338帕，在30℃時(shí)約為4245帕。也就是說，當(dāng)水環(huán)真空泵處于20℃時(shí)，一旦其工作壓力被泵送到接近2338帕，工作液體將開始大量蒸發(fā)，形成氣源。然而，水環(huán)真空泵沒有...
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半導(dǎo)體工藝真空主要用于蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測(cè)試設(shè)備、真空清洗等鍵合工藝。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體，對(duì)生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個(gè)安全注意事項(xiàng)如下: 1.定期清潔真空泵及其他附件、過濾器和管道，以避免過壓 在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過程中通過反應(yīng)室和真空泵時(shí)，介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化鈦水解形成氯化氫。假設(shè)使用油封機(jī)械泵，這些氣態(tài)物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假設(shè)顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)的形成，可能會(huì)堵塞真空泵或管道系統(tǒng)，影響真空泵的性能，導(dǎo)致壓力升高或過壓，并帶來更大的風(fēng)險(xiǎn)。因此，有必要及時(shí)清理，必要時(shí)設(shè)置過濾設(shè)備。 2.有效稀釋有害氣體的濃度 半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒有害氣體。因此，在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)抽取這些介質(zhì)時(shí)，有必要防止真空泵或排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如，當(dāng)與空氣或氧氣接觸時(shí)，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會(huì)引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫氣的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時(shí)，也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此，當(dāng)半導(dǎo)體真空泵提取這些介質(zhì)時(shí)，在壓縮前的當(dāng)前條件下，需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到安全范圍?！ ?.注意氧氣的濃度 如果空氣中的氧氣濃...
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真空泵是指使用機(jī)械，物理，化學(xué)或物理化學(xué)方法排空泵送容器以獲得真空的裝置或設(shè)備。一般而言，真空泵是使用各種方法來改善，產(chǎn)生和維持封閉空間中的真空的裝置?！ ≌婵毡梅诸悺 「鶕?jù)真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩類，即可變?nèi)萘空婵毡煤蛣?dòng)量傳遞泵?！ 】勺?nèi)萘空婵毡檬且环N真空泵，它利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣，從而達(dá)到抽氣的目的。氣體在離開泵腔之前被壓縮?！ ?dòng)量傳遞泵(分子真空泵)依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流將動(dòng)量傳遞給氣體或氣體分子，從而使氣體從泵的入口連續(xù)傳輸?shù)狡涑隹??！ 】勺內(nèi)萘空婵毡梅譃椋和鶑?fù)式，旋轉(zhuǎn)式(旋片，滑閥，液環(huán)、澆注區(qū)，螺旋，爪形轉(zhuǎn)子)和其他類型?！ 沧^(qū)和冷刀區(qū)的設(shè)備使用可變?nèi)萘康谋?。下面詳?xì)描述可變?nèi)萘勘谩！ 】勺內(nèi)萘勘梅诸悺 ?、往復(fù)式真空泵 通過活塞在泵腔中的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，氣體被吸入，壓縮和排出。也稱為活塞真空泵。有關(guān)詳細(xì)說明，請(qǐng)參見以下視頻： 2、旋片真空泵 利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子零件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，氣體被吸入，壓縮和排出。它大致分為以下幾類： 1)油封真空泵 它是一種旋轉(zhuǎn)可變?nèi)萘空婵毡茫褂谜婵毡糜蛠砻芊獗弥羞\(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，并減少泵中的有害空間。該泵通常配有氣鎮(zhèn)設(shè)備。它主要包括旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，固定葉片真空泵，滑閥真空泵和擺線真空泵?！ ?)液環(huán)真空泵 泵殼中帶有多葉片的偏心轉(zhuǎn)子。當(dāng)其旋轉(zhuǎn)時(shí)，工作流體在泵殼處拋出，形成與泵殼同心的液環(huán)。...
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自工業(yè)革命開始以來，真空技術(shù)一直處于現(xiàn)代制造技術(shù)的前沿。從1800年的第一臺(tái)手動(dòng)真空泵到1953年的第一臺(tái)工業(yè)真空吸塵器，真空技術(shù)被廣泛用于處理粉末和散裝固體的運(yùn)輸，有效地解決了大規(guī)模生產(chǎn)的問題。 什么是真空運(yùn)輸? 真空輸粉系統(tǒng)是通過真空抽吸實(shí)現(xiàn)輸粉目的，集過濾、反吹、出料、閥體控制等綜合因素于一體的系統(tǒng)。它主要應(yīng)用于粉狀物料、顆粒狀物料、粉狀混合物等物料的運(yùn)輸，在制藥、化工、食品加工、添加劑制造、航空航天等行業(yè)十分流行?！ ≌婵瞻l(fā)生器的原理 真空運(yùn)輸最早起源于歐洲。由于初期技術(shù)水平低，運(yùn)輸效率相對(duì)較低。然而，經(jīng)過多年的實(shí)踐和組裝零件的更新，真空運(yùn)輸現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)展到一個(gè)相當(dāng)完美的水平。以下是真空運(yùn)輸在中國經(jīng)歷的三代變化: 第一代:真空輸送技術(shù)最早應(yīng)用于制藥生產(chǎn)領(lǐng)域，采用普通工業(yè)粉塵吸收作為真空源，目前已被淘汰?！ 〉诙?工業(yè)吹吸泵取代工業(yè)吸塵機(jī)，采用有機(jī)纖維過濾技術(shù)?！ 〉谌?采用真空泵和真空發(fā)生器作為真空源，同時(shí)對(duì)過濾系統(tǒng)進(jìn)行了改進(jìn)，大大提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性?！ ∨c常用的正壓輸送、提桶、輸送帶等輸送方式相比，真空輸送通過定制化和現(xiàn)成化的工程系統(tǒng)，可以解決生產(chǎn)中的諸多安全隱患，提高工作效率，有效減少物料損失。此外，最重要的是，它還可以與混合機(jī)、造粒機(jī)、壓片機(jī)、包衣機(jī)、膠囊充填機(jī)、包裝機(jī)等其他粉末輸送技術(shù)無法比擬的主要工藝設(shè)備結(jié)合使用。 你為什么選擇真空運(yùn)輸? 眾所周知，...
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如果普通旋片真空泵的轉(zhuǎn)子反轉(zhuǎn)，真空泵的油和空氣將返回真空室，造成污染并破壞現(xiàn)有的真空度。因此，在實(shí)際應(yīng)用中有必要防止旋片真空泵反轉(zhuǎn)。一般如何防止旋片真空泵反轉(zhuǎn)?與螺桿真空泵制造商一起了解它?！ ∪绻婵毡梅崔D(zhuǎn)，它通常出現(xiàn)在泵的啟動(dòng)和停止階段?！ ⌒婵毡猛ǔＳ扇嘟涣麟姍C(jī)驅(qū)動(dòng)，因此首先要注意電源線的連接，以保證正確的旋轉(zhuǎn)方向。目前，一些泵還配備了反向制動(dòng)，以防止泵反向旋轉(zhuǎn)。一旦電源線連接不正確，真空泵就無法啟動(dòng)?！ ‘?dāng)泵停止時(shí)，出口處的大氣壓力將使真空泵反轉(zhuǎn)。因此，有必要通過一個(gè)特殊的閥門將真空泵與真空室分開，以防止反向旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致空氣和泵油進(jìn)入流入真空室。這種特殊的閥門通常是一種電磁放氣閥，它通常與電機(jī)的電源相連，并安裝在真空泵的入口管中。當(dāng)真空泵斷電或控制開關(guān)關(guān)閉時(shí)，電磁閥將打開，通過大氣和泵入口之間的壓差關(guān)閉泵和真空室之間的通道，并將空氣排放到真空泵入口。真空泵啟動(dòng)時(shí)，電磁閥關(guān)閉，真空泵排空保護(hù)閥，閥板被彈簧壓力打開?！ 〈送?，一些旋片真空泵還將在泵的進(jìn)口處安裝一個(gè)空氣隔離閥來代替電磁放氣閥，以實(shí)現(xiàn)上述保護(hù)閥的功能。
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大多數(shù)深圳水環(huán)真空泵的泵軸彎曲主要是由于套筒剛性不足和葉輪不平衡造成的，導(dǎo)致運(yùn)行時(shí)變形。軸的彎曲方向和尺寸可以通過以下方法測(cè)量:將軸平放在支架上，將兩個(gè)支撐點(diǎn)(可以是泵軸的中心孔或軸的頸部位置)調(diào)整到相同的高度，在軸上選擇幾個(gè)等距部分，在軸的一次旋轉(zhuǎn)中用千分表測(cè)量四個(gè)方向的徑向跳動(dòng)(即每90度旋轉(zhuǎn)一次)，并做好記錄。根據(jù)這些數(shù)據(jù)，可以得到四個(gè)方向的彎曲值，用圖解法可以求出最大彎曲的方向和大小，從而可以進(jìn)行矯直。水環(huán)真空泵泵軸的裂紋和斷裂部位往往發(fā)生在局部應(yīng)力集中的地方，如鍵槽邊緣和直徑突變處。損壞的原因通常是振動(dòng)引起的疲勞損壞?！ ∷h(huán)真空泵的泵軸如有疲勞裂紋(即將斷裂的前兆)，應(yīng)及時(shí)更換。如果由于客觀因素需要繼續(xù)使用，暫時(shí)無法更換，臨時(shí)補(bǔ)救辦法是修復(fù)焊縫裂紋。補(bǔ)焊后使用泵軸時(shí)，應(yīng)注意補(bǔ)焊區(qū)域的變化，以免發(fā)生事故。疲勞損壞的主要原因是泵軸運(yùn)行期間泵腔內(nèi)的氣體對(duì)泵軸施加的力，也稱為徑向力。除了水環(huán)真空泵徑向受力的根本原因外，不合理的結(jié)構(gòu)也是泵軸疲勞損壞不可忽視的重要原因?！ ∧壳八h(huán)真空泵的軸與葉輪為一級(jí)動(dòng)配合，鍵槽沒有用0型密封圈密封。泵中的液體(尤其是當(dāng)腐蝕性液體在化學(xué)工業(yè)中用作液體環(huán)時(shí))會(huì)通過配合間隙和鍵槽進(jìn)入的軸孔腐蝕軸和葉輪的軸孔，從而大大降低疲勞強(qiáng)度。在腐蝕和磨損之后，配合間隙增加(一些被研磨成橢圓形軸孔)，這不僅影響性能，而且加劇振動(dòng)和促進(jìn)疲勞斷裂。一般水環(huán)真空泵的泵軸...
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1.真空:在真空科學(xué)中，真空指的是給定空間內(nèi)低于大氣壓的氣體狀態(tài)。人們通常稱這種稀薄氣體狀態(tài)為真空狀態(tài)?！ ?.真空度:顧名思義，真空度就是真空度。真空下氣體的厚度通常表示為“高真空”和“低真空”。高真空意味著“好”，低真空意味著“差”。所謂的“真空”是指在給定空間內(nèi)壓力低于101325百帕(即大約1013百帕的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)的氣體狀態(tài)。在真空狀態(tài)下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示。顯然，壓力值越小，氣體越稀薄?！ ?.真空泵極限壓力:真空泵能達(dá)到的最低壓力?！ ?.極度真空:真空容器在充分抽氣后穩(wěn)定在一定的真空度。這種真空度被稱為極度真空。通常真空容器需要12小時(shí)的氣體精煉，然后抽真空12小時(shí)，最后一小時(shí)每10分鐘測(cè)量一次，取10次的平均值作為極限真空值。 5.大氣壓力:地球表面周圍厚厚的一層大氣對(duì)地球表面或表面物體施加的壓力稱為大氣壓力?！ ?.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力:指標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下海平面的大氣壓力。1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760毫微克=101325帕 7.絕對(duì)壓力和相對(duì)壓力:直接作用在容器或物體表面的壓力稱為絕對(duì)壓力，絕對(duì)壓力值以絕對(duì)真空為起點(diǎn)。用壓力計(jì)、真空計(jì)、U形管和其他儀器測(cè)量的壓力稱為表壓或相對(duì)壓力?！ ?.標(biāo)準(zhǔn)條件:通常指溫度為0℃，壓力為101325帕(1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，760毫米汞柱)的條件。以便在比較氣體體積時(shí)有一個(gè)統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。除非另有說明，氣體的密度是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下所說...
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