有各種各樣的真空應(yīng)用,但是無論真空應(yīng)用如何,都有一種抽氣系統(tǒng)可以從抽氣的容器中去除氣體,從而在真空容器中獲得所需的真空條件。例如:一個(gè)真空處理容器,該容器通過管道和閥門連接到真空泵。當(dāng)真空泵抽吸容器時(shí),容器具有真空測(cè)量裝置,該真空測(cè)量裝置構(gòu)成最簡(jiǎn)單的真空系統(tǒng)。?
最簡(jiǎn)單的真空系統(tǒng)只能在泵送的容器中實(shí)現(xiàn)低真空范圍內(nèi)的真空。當(dāng)需要在高真空范圍內(nèi)獲得真空時(shí),通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)連接高真空泵。當(dāng)高真空泵串聯(lián)連接時(shí),通常在高真空泵的入口和出口增加一個(gè)閥門,以便高真空泵可以單獨(dú)保持真空。如果串聯(lián)的高真空泵是油擴(kuò)散泵,為了防止大量的油蒸氣倒流到泵浦容器中,通常會(huì)在油擴(kuò)散泵的入口處添加一個(gè)疏水閥——水冷擋板。根據(jù)要求,還可以在管道上增加除塵器,真空繼電器表頭,真空軟連接管,真空泵入口放氣閥等,從而形成一個(gè)相對(duì)完整的高真空系統(tǒng)。
由兩個(gè)或多個(gè)串聯(lián)的真空泵組成的真空系統(tǒng)通常是指將低真空度作為其上級(jí)高真空泵的前級(jí)泵(或預(yù)泵)和最高級(jí)真空度抽出的泵泵稱為真空系統(tǒng)。主泵即主泵,抽水箱內(nèi)的極限真空和工作真空由主泵確定。抽水容器出口與主泵入口之間的管線稱為高真空管線,主泵入口處的閥稱為主閥。
通常,前級(jí)泵是真空泵的兩倍。泵送的容器和預(yù)泵之間的管路稱為預(yù)真空管路,管路上的閥稱為預(yù)真空管路閥。主泵出口和前級(jí)泵入口之間的管線稱為前級(jí)管線。該管路上的閥稱為前級(jí)管路閥,軟連接管路設(shè)置為隔離前級(jí)泵的振動(dòng)。
一個(gè)更完整的真空系統(tǒng)包含以下組件:
1,抽水設(shè)備:如各種真空泵
2,真空閥
3,連接管道
4,真空測(cè)量裝置:如真空壓力表,各種規(guī)管
5,其他組件:例如疏水器,集塵器,真空繼電器,氣體儲(chǔ)存罐等。
那么,什么是真空系統(tǒng)?一句話是:一種用于獲得具有特定要求的真空的抽氣系統(tǒng)。
真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基本內(nèi)容:根據(jù)所抽容器的真空要求,選擇合適的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),選擇與之匹配的泵計(jì)算;確定導(dǎo)管,閥門,疏水閥,真空測(cè)量組件等,以進(jìn)行合理配置。最后,繪制真空系統(tǒng)的裝配圖和零件圖。