單級旋片真空泵只有一工作室。該泵主要由定子、旋片和轉(zhuǎn)子組成。轉(zhuǎn)子偏心安裝在泵腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)安裝有雙個旋轉(zhuǎn)板，由于彈簧彈力，轉(zhuǎn)子槽靠近氣缸壁(旋轉(zhuǎn)后旋片的離心力也是如此)。轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子把定子腔分成雙部分：吸入和排出。
當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時，進(jìn)氣口的容積逐漸膨脹，吸入氣體，排氣口的'一'側(cè)的容積逐漸減小，以壓縮吸入的氣體，并將其從排氣門排出。
排氣閥浸入油中，以防止空氣流入泵中。真空泵油通過油孔和排氣閥進(jìn)入泵腔，使得泵腔內(nèi)的所有運(yùn)動表面均由油覆蓋，并形成吸入腔與排氣腔之間的密封。
為了提高真空泵的真空極限，除了提高泵體、轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子的加工精度，最大限度地減小裝配間隙和有害空間外，最有效的方法是將雙臺單級泵串聯(lián)成一臺雙級泵。
水泵由雙個工作室組成。雙個腔室串聯(lián)在一起，以相同的速度在同一方向旋轉(zhuǎn)。A室是B室的前級，A室是低真空級，B室是高真空級。吸入的氣體通過高真空級(室B)進(jìn)入前級，并通過排氣閥從泵中排出。前級(A)和單級泵一型，油隨時進(jìn)入泵腔，而高真空級(B)在工作開始時只有少量油，工作一期后，沒有油進(jìn)入泵腔。當(dāng)泵開端事情，且吸入氣體的壓力較高時(例如從大氣壓力開端抽氣)，氣體經(jīng)B室收縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥(1)排出，另一部分則經(jīng)由前級排出。
當(dāng)真空泵工作一段時候后，B室吸入的氣體壓力較低時，雖經(jīng)B室的收縮，壓力也達(dá)不到一個大氣壓以上，排不開輔佐排氣閥(1)，則吸入的氣體全數(shù)進(jìn)入前級A室，經(jīng)A室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥(3)排出。
真空泵工作一段時間后，由于高真空級進(jìn)氣的壓力大大降低，雙級泵的出口壓力也很小，所以B室的進(jìn)、出口壓差也很小，壓縮氣體回流的次數(shù)也相應(yīng)減少;同時，前級A室不斷將后級泵中的蒸發(fā)油分子抽出，降低了油蒸氣的分壓，使雙級泵的油污比單級泵小，極限真空度將大大提高。國前的雙級旋片真空泵的極限壓力可10-2pa，外洋有的泵可達(dá)到10-3Pa。