螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員,出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代前后,發(fā)展緩慢。
但是,作為理想的干式泵,出現(xiàn)了螺桿真空泵,并得到了迅速的發(fā)展?,F(xiàn)在就理解小編和基本知識吧.
一、螺桿真空泵的特點(diǎn)
螺桿真空泵起源于螺桿壓縮機(jī)和螺桿式液體輸送泵,是容積式真空泵中理想的干式真空泵。由于能夠清潔無油真空環(huán)境,對含有腐蝕性氣體、凝結(jié)性蒸汽、粉塵粒子的氣體有較強(qiáng)的適應(yīng)性,清潔電子半導(dǎo)體、制藥、石油化學(xué)等真空環(huán)境的要求嚴(yán)格,在氣體成分復(fù)雜行業(yè)中,螺桿真空泵很受歡迎
螺桿真空泵通過一對非對稱螺桿轉(zhuǎn)子的相對運(yùn)動,使齒間容積周期性變化來輸送氣體,實(shí)現(xiàn)抽出。這些特征包括:
1.清潔無油,多相混輸,適應(yīng)性廣。螺桿真空泵轉(zhuǎn)子之間有嚴(yán)格的間隙,泵室內(nèi)無油,可吸入腐蝕性氣體、有毒及粉塵、凝結(jié)性蒸汽等復(fù)雜氣體。
2、結(jié)構(gòu)簡單,動平衡好,可靠性高。螺桿真空泵零件少,芯零件無易損件,無不平衡慣性力,運(yùn)行可靠,壽命長。
3、結(jié)構(gòu)簡單,零件少,操作、維護(hù)簡單。
4.通過強(qiáng)制輸送空氣,可以在寬的壓力范圍內(nèi)確保大的吸引速度,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。
二、螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)
螺桿真空泵一般為雙軸結(jié)構(gòu)。螺桿真空泵是經(jīng)由一對非對稱螺桿轉(zhuǎn)子在泵室同步高速反轉(zhuǎn),使齒間容積周期性變化而產(chǎn)生進(jìn)氣和排氣作用的排氣設(shè)備。
其主要結(jié)構(gòu)為螺桿轉(zhuǎn)子、軸承、泵體、密封件等。螺桿轉(zhuǎn)子經(jīng)過精密的動平衡補(bǔ)償由軸承支承,安裝在泵室,螺桿與螺桿之間保持嚴(yán)格的一定間隙。泵工作時,相互沒有摩擦,工作順利,噪音低,室內(nèi)不需要潤滑油。因此,螺桿真空泵在能夠吸引含有大量水蒸氣和粉塵的氣體時,具有極限真空高、低耗電、節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。
螺桿真空泵的主要結(jié)構(gòu)
由上圖可知,螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡單。形式上,根據(jù)螺桿真空泵分為臥式和立式的螺桿轉(zhuǎn)子型生產(chǎn)線,分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵。單頭螺桿真空泵通過轉(zhuǎn)子的螺距、等螺距螺桿。
多頭型金屬絲可在一個金屬絲內(nèi)完成進(jìn)氣、壓縮、排氣過程,金屬絲較少,能有效地減少泵的體積和重量,適用于大抽吸速度區(qū)域,但其金屬絲復(fù)雜,需要特殊工具和專用機(jī)床,加工費(fèi)用高,且由于三角泄漏的原因,真空度高
單頭型生產(chǎn)線適用于小型螺桿真空泵,市場上也多為單頭式真空泵。其中等間距螺桿真空泵室內(nèi)不壓縮,固體粒子和凝結(jié)性氣體能夠簡單排出,但排氣溫度和能量消耗率高的可變間距螺桿真空泵室內(nèi)有壓縮,排氣溫度低,能量消耗低,但粉塵粒子和凝結(jié)性氣體的耐性存在等間距差。
三、螺桿真空泵的工作原理
由于是由螺旋壓縮機(jī)產(chǎn)生的,所以螺旋真空泵的工作原理也與螺旋壓縮機(jī)相似。用近似的多線進(jìn)行說明。
1.進(jìn)氣過程
a.進(jìn)氣進(jìn)程開始
b.進(jìn)氣中
c.進(jìn)氣過程結(jié)束
2.壓縮過程
a.啟動壓縮進(jìn)程
b.正在壓縮
c.壓縮過程結(jié)束排氣開始
3.排氣過程
a、排氣中b、排氣中結(jié)束
螺桿真空泵的排氣過程。齒間容積與排氣口連通后,排氣過程開始。隨著齒間容積的縮小,有排氣壓力的氣體從排氣口排出。
四、螺桿真空泵的應(yīng)用
螺桿泵不僅適應(yīng)性寬,而且能夠在嚴(yán)格的條件下進(jìn)行排氣,并且能夠?qū)崿F(xiàn)高真空度(0.1~1Pa)。因此,隨著半導(dǎo)體、石油化學(xué)行業(yè)的迅速發(fā)展,螺桿真空泵作為理想的干泵開始廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、醫(yī)藥化學(xué)工業(yè)領(lǐng)域如半導(dǎo)體行業(yè)的蒸鍍、蝕刻、醫(yī)藥化學(xué)工業(yè)行業(yè)的蒸餾干燥、中間
由于型線技術(shù)和加工成本,螺桿真空泵的購買費(fèi)用比較高,但從長遠(yuǎn)來看,其寬度適應(yīng)、高效節(jié)能環(huán)保特性和低故障修理率,在運(yùn)行周期內(nèi)給企業(yè)帶來了較高的綜合利益和社會環(huán)境利益,使用更多的通用性是未來的趨勢。