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2021
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半導(dǎo)體工藝真空主要用在真空干法刻蝕，真空吸附，測試設(shè)備，真空清掃，蒸發(fā)，濺射，PECVD等鍵合工序，半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體，會(huì)對生產(chǎn)及人員安全造成威脅。根據(jù)半導(dǎo)體真空工藝的應(yīng)用，深圳真空泵廠家恒才機(jī)電設(shè)備公司講講半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng)，歡迎查閱。半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用的4大注意事項(xiàng)：第一、有效稀釋有害氣體的濃度：半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如AsH3、B2H6、SiH4、PH3等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氦氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。第二、定期清洗真空泵及其他附件、管道，過濾、避免超壓：半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCI；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。因此需要...
2021
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05
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為了節(jié)省成本，旋片式真空泵的某些用戶使用常規(guī)油代替真空泵的專用油。實(shí)際上，這不僅在一定程度上增加了使用和維護(hù)真空泵的成本，而且嚴(yán)重影響了真空泵的使用壽命。在旋轉(zhuǎn)葉片真空泵中，來自真空泵的油不僅用作獲得真空的介質(zhì)，而且還起到潤滑，冷卻和密封機(jī)械摩擦點(diǎn)的作用。作為旋片式真空泵不可缺少的物質(zhì)，真空泵油的存在為真空泵帶來很多好處?！ ∪缓笥腥藭?huì)問液壓油可以替代真空泵油嗎?答案是否定的。每種類型的油都有其特性。由于液壓油必須始終承受一定的壓力，因此它將產(chǎn)生更多的熱量，因此它必須能夠承受高溫。真空油在真空泵中起潤滑和密封的作用。因此，真空泵油必須具有良好的潤滑效果。在真空泵的工作過程中，泵還會(huì)通過壓縮空氣來產(chǎn)生熱量。因此，真空泵油必須承受一定的溫度，同時(shí)，泵油必須與真空環(huán)境接觸，因此要求泵油不得揮發(fā)?！ 〈送?，還有用汽油絕對不可以汽油容易弄臟和著火，它是汽車和摩托車的動(dòng)力燃料，沒有潤滑功能?？梢杂幂p機(jī)油或20號變壓器油代替真空泵的內(nèi)部，即絕緣，潤滑和散熱?！ ∈褂谜婵毡糜偷淖⒁馐马?xiàng)： 1.為確保真空系統(tǒng)的正常運(yùn)行，在使用，儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中，防止機(jī)械雜質(zhì)和水等污染物進(jìn)入，以免影響真空油的使用壽命和系統(tǒng)的正常運(yùn)行?！ ?.廢油中通常含有大量污染物和老化產(chǎn)物，會(huì)嚴(yán)重影響新油的質(zhì)量和壽命，因此，在更換機(jī)油時(shí)，必須清潔油箱和油路。從泵的吸入口倒出新油，然后用手緩慢旋轉(zhuǎn)泵軸以清潔泵腔并排干所有殘留的油，...
2021
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06
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往復(fù)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵使用往復(fù)式或旋轉(zhuǎn)活塞吸入、壓縮和排出氣體。它的優(yōu)點(diǎn)是剛投入使用的泵真空度比較高，但活塞是運(yùn)動(dòng)部件，所以活塞磨損是不可避免的。隨著檢查次數(shù)的增加，工作間隙會(huì)不斷縮小，直至無法滿足生產(chǎn)要求。這類泵運(yùn)行噪音大、油耗高、故障率高，也是致命的不足。一般需要開一個(gè)更換，無形中增加了設(shè)備的投資和運(yùn)行成本。此外，如果這種類型的泵用于泵送水蒸氣等可冷凝氣體，它會(huì)使?jié)櫥腿榛?。因此，它只能用于泵送不可凝氣體(空氣)，不能用于泵送顆粒。用顆粒也限制了它的應(yīng)用范圍?！ ∷h(huán)真空泵是以安裝在泵殼內(nèi)的帶有多個(gè)葉片的偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，將水拋入泵殼內(nèi)形成與泵殼同心的水環(huán)。水環(huán)和轉(zhuǎn)子葉片形成體積的周期性變化以吸入氣體、壓縮和排出。它的優(yōu)點(diǎn)是可以直接在低真空下泵送蒸汽等可凝性氣體。其缺點(diǎn)是真空度低;不能吸出顆粒狀介質(zhì);轉(zhuǎn)子在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)不易進(jìn)行防腐處理，因此不能吸入腐蝕性介質(zhì)。
2021
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06
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隨著干式真空泵的使用率越來越普遍，其質(zhì)量也在不斷提高。由于其特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，被大家廣泛使用。為了給大家更好的應(yīng)用，我們來了解一下干式真空泵的腐蝕修復(fù)方法有哪些? 干式真空泵由于長期在空氣中或腐蝕性環(huán)境中工作，很容易受到腐蝕，所以遇到這種情況一定要及時(shí)維修。首先，徹底清潔表面氧化層，并用丙酮清潔表面。嚴(yán)格按比例調(diào)和，攪拌均勻至無色差。首先涂上一層薄薄的材料以確保附著力和完全覆蓋，然后將材料均勻地涂在修復(fù)表面上，以達(dá)到所需的修復(fù)厚度。材料溫度為24小時(shí)/24，材料溫度每升高11固化時(shí)間減半，但溫升不得超過材料強(qiáng)度溫度。干式真空泵是在泵殼內(nèi)高速同步反向旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的具有吸排氣功能的抽氣裝置。為防止其功能下降，必須做好日常維護(hù)保養(yǎng)，做好防腐工作，減少其他問題的發(fā)生?！ ∫陨暇褪歉墒秸婵毡酶g修復(fù)方法。希望您在以后的交易過程中參考以上方法，避免盲目交易造成的損失。如果您需要，您可以聯(lián)系我們。我們是專業(yè)生產(chǎn)廠家根據(jù)公司的具體需求推薦合適的，避免盲目選擇造成損失。
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06
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羅茨真空泵故障檢修 一、極限壓力達(dá)不到 1. 管道系統(tǒng)漏氣，系統(tǒng)檢查即可?！ ?. 泵體部分漏氣，檢查泵?！ ?. 前級泵極限壓力下降，修理或更換前級泵。 4. 油封磨損，更換油封。 5. 進(jìn)氣溫度過高，影響極限壓力?！ 《⒊樗俨蛔恪 ?. 管道通道能力不足，增大管道通道能力?！ ?. 前級泵抽速下降，修理或更換前級泵?！ ∪?、電機(jī)過載 8. 入口壓力過高，調(diào)整控制入口壓力?！ ?. 轉(zhuǎn)子端面與端蓋單面接觸，調(diào)整轉(zhuǎn)子端面間隙?！ ?0. 前級泵返油或水進(jìn)羅茨泵腔，加裝或更換單向閥?！ ?1. 采用機(jī)械式自動(dòng)調(diào)壓旁通閥?！ ?2. 采用液力聯(lián)軸器?！ ?3. 采用真空電氣元件控制泵入口壓力?！ ∷摹⒈皿w過熱 14. 選擇前級泵抽速不夠，造成的壓縮比過大，重新選用前級泵?！ ?5. 入口壓力過高，調(diào)整控制入口壓力?！ ?6. 冷卻不足，暢通加大冷卻水?！ ?7. 轉(zhuǎn)子與泵殼接觸，檢修?！ ?8. 齒輪潤滑油過多，調(diào)整油量?！ ?9. 齒輪軸承油封潤滑不足，保證油量適當(dāng)，潤滑良好?！ ∥濉⒙曇舢惓！ ?0. 裝配不良，返修?！ ?1. 同步齒輪與轉(zhuǎn)子位置偏移，轉(zhuǎn)子互相接觸。調(diào)整位置，保證間隙?！ ?2. 入口壓力過高，調(diào)整控制入口壓力。 23. 過載或潤滑不良，造成對齒輪的損傷，更換同步齒輪?！ ?4. 軸承磨損，更換軸承。 25. 齒輪箱油量不夠，按要求加油?！ ?6...
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羅茨螺桿真空機(jī)組也可稱為螺桿三羅茨真空機(jī)組，這是因?yàn)榱_茨螺桿真空機(jī)組是由康斯頓品牌的螺桿真空泵、及三臺羅茨真空泵組合而成，選用羅茨真空泵的優(yōu)勢是在較低的入口壓力時(shí)仍具有較大的抽氣速率；而康斯頓新一代高品質(zhì)螺桿真空泵，解決了對介質(zhì)和環(huán)境造成污染的問題，同時(shí)回收物還能創(chuàng)造附加經(jīng)濟(jì)效益；可應(yīng)用于化工行業(yè)應(yīng)用、或是有機(jī)溶劑行業(yè)。上述為羅茨螺桿真空機(jī)組的概述及配置選用的原因，下面簡單介紹下螺桿三羅茨真空機(jī)組工作原理、其他真空系統(tǒng)基本配置。羅茨螺桿真空機(jī)組工作原理：1.打開冷卻水、冷凍液供應(yīng)閥門，確保冷凝器和回收器工作條件具備后，先啟動(dòng)螺桿真空泵，在系統(tǒng)內(nèi)建立真空；2.打開被抽反應(yīng)釜閥門，被抽氣體經(jīng)反應(yīng)釜本身自動(dòng)的冷凝器和回收分離后，到達(dá)真空系統(tǒng)的前置綜合處理器，再進(jìn)行充分冷凝、捕集、分離、壓縮后，被螺桿真空泵抽出；3.被抽氣體排出螺桿真空泵后，再經(jīng)過排氣冷凝、分離、回收后進(jìn)一步降低排放氣體中的可凝氣體含量，環(huán)保節(jié)能的真空機(jī)組解決方案。羅茨螺桿真空機(jī)組配置：羅茨真空泵、螺桿真空泵、冷凝器、熱交換器如需了解更多真空泵系統(tǒng)、真空泵應(yīng)用行業(yè)、真空解決方方案設(shè)計(jì)制定等，可致電深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司，將為您提供真空設(shè)計(jì)方案、真空泵設(shè)備、真空系統(tǒng)安裝、真空泵售后維保等一站式服務(wù)。
2021
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選擇油旋片真空泵作為羅茨泵的前級泵，可發(fā)揮哪些優(yōu)勢，羅茨旋片真空機(jī)組搭配應(yīng)用特點(diǎn)是什么？1.配置GVS油潤滑旋片真空，具有0.1-1mbar的極限真空度，16-840立方米每小時(shí)的高抽速，旋片泵溫度低于其他設(shè)備，有優(yōu)化保油能力，潤滑油壽命更長等特點(diǎn)2.選用JRP150-2000羅茨真空泵，具有大抽速優(yōu)勢（153-2050每立方每小時(shí)），羅茨真空泵真空度可達(dá)0.05pa，結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝，搭配各類真空機(jī)組及真空系統(tǒng)。3.羅茨旋片真空機(jī)組應(yīng)用范圍廣，可用于食品、電子元件真包裝、玻璃板的吊運(yùn)、木板/塑料板吸持、造紙和印刷行業(yè)，紙板裝卸輸送等等4.羅茨旋片真空機(jī)組采用了JSP羅茨泵+GVS旋片泵，以達(dá)到所需真空度要求，相比于單獨(dú)真空泵使用，羅茨旋片真空機(jī)組的搭配適用行業(yè)也更多。深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司專注于真空泵領(lǐng)域，是深圳真空泵生產(chǎn)廠家之一，恒才機(jī)電擁有技術(shù)團(tuán)隊(duì)研發(fā)生產(chǎn)真空泵產(chǎn)品，所研發(fā)的真空泵（水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵、螺桿真空泵）、真空系統(tǒng)、真空機(jī)組等產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于食品、制藥、醫(yī)療、化工、家居、電子電池、水環(huán)境等行業(yè)，并為客戶量身定制行業(yè)應(yīng)用解決方案。
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