真空泵于半導(dǎo)體設(shè)備意義重大:
若半導(dǎo)體器件不同材料層之間混入氣體分子,會(huì)破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能,而真空系統(tǒng)可對(duì)芯片的性能和良率起決定性作用。
(半導(dǎo)體真空系統(tǒng)改造前現(xiàn)場1)
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用:
晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。
(半導(dǎo)體真空系統(tǒng)改造前現(xiàn)場2)
Atlas螺桿真空機(jī)組應(yīng)用領(lǐng)域:
分析儀器、化工、食品加工、發(fā)電解決方案、半導(dǎo)體、平板顯示、可再生能源(太陽能、LED照明、儲(chǔ)能等)、石材、印刷包裝、家具木材等行業(yè)。
(半導(dǎo)體真空系統(tǒng)改造后,螺桿真空機(jī)組應(yīng)用現(xiàn)場1)
經(jīng)過深圳恒才機(jī)電的真空方案改造后,半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用方案節(jié)能可達(dá)50%:
1、一臺(tái)Atlas螺桿真空機(jī)組可替換多臺(tái)泵組,為可客戶減少能耗、集中抽真空方便管理;
2、Atlas螺桿真空泵擁有VSD和設(shè)定點(diǎn)控制功能,而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的,可根據(jù)實(shí)際所需真空水平或速度,提供需求的真空氣量,避免造成浪費(fèi);
3、Atlas螺桿真空泵是真空領(lǐng)域的節(jié)能減排真空系統(tǒng),節(jié)能可達(dá)50%,深受用戶好評(píng)。
(半導(dǎo)體真空系統(tǒng)改造后,螺桿真空機(jī)組應(yīng)用現(xiàn)場2)
深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司的真空泵、真空系統(tǒng)在電子、半導(dǎo)體工業(yè)、制藥工業(yè)、印刷行業(yè)、鍍膜、橡塑成型、PET片材擠出、顆粒擠出、醫(yī)療器械等工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用,恒才真空泵廠家始終以穩(wěn)定的真空系統(tǒng)為客戶提供安全可靠的真空解決方案、定制化中央集成真空系統(tǒng)。